Керамическая роботизированная рука играет роль в обработке полупроводникового оборудования.Он эквивалентен руке робота полупроводникового оборудования и отвечает за перевозку кристаллических микросхем до указанного местаПоскольку кремниевый чип в вафере чрезвычайно уязвим для других частиц, он обычно выполняется в вакуумной среде.
В этой среде робот-рука большинства материалов, как правило, трудно выполнить работу.В это времяЕсть два типа обычных керамических роботизированных рук, одна из которых - керамическая робототехническая рука из алюминия,а другая - керамическая робот-рука из карбида кремния..
Алюминиевая керамика и керамика из карбида кремния обладают физическими свойствами плотного качества, высокой твердости и высокой износостойкости, а также хорошей теплостойкостью.Отличная механическая прочность, хорошая изоляция, хорошая коррозионная устойчивость и т. д. Это отличный материал для изготовления полупроводниковых оборудований роботизированных рук.
Но с точки зрения производительности, роботизированная рука из кремниевой керамики лучше, чем роботизированная рука из глинозема.
Обычно керамические изделия из карбида кремния изготавливаются из высокочистых и сверхтонких микронаполнителей из карбида кремния.Содержание карбида кремния превышает 990,1% и плотность продукта ≥ 3,10 г/см3.