--Стеклянная обрабатывая камера: ∮100мм; 130мм высокое.
--Размер этапа образца: ∮40мм (чашки образца владением 6)
--Золотой размер цели:
∮58мм*0.12мм (толщина)
--Обнаружение вакуума: Датчик Пирани
--Предохранение от вакуума: ПА 20 с клапаном инфляции микромасштаба
--Средний газ: Аргон или воздух с воздуховодом газа аргона особенным и газ регулируя в микромасштабе.
| Ион А50.7011 брызгает Коатер | |
| Камера вакуума | Дя 100мм*Х130мм |
| Этап образца | Дя 40мм (чашки образца владением 6) |
| Золото брызгая цель | Дя 58мм*0.12мм (толщина) |
| Датчик вакуума | Датчик Пирани |
| Вакуумный насос | Лопасть Пумс вращения: 2Л/с |
| Пункт предохранения от вакуума | 20Па с клапаном инфляции микромасштаба |
| Работая газ | Аргон или воздух с воздуховодом газа аргона особенным и газ регулируя в микромасштабе |
| Брызгать напряжение тока | 1.6КВ |
| Вес брутто | 48кг |
| Соответствие | КЭ |


