Компоненты кремниевого карбида высокой точности для
процессы полупроводника и оптически оборудование машинного оборудования
Рука кремниевого карбида робототехническая сформирована процессом изостатический отжимать и спекать на высокой температуре. Согласно требованиям чертежей дизайна потребителя, размер, толщина и форма могут быть закончены соотвествовать специфические потребителя.
Цыпленок вакуума кремниевого карбида сформирован процессом изостатический отжимать и спекать на высокой температуре. Согласно требованиям чертежей дизайна потребителя, размер, толщина и форма могут быть закончены соотвествовать специфические потребителя.
Типичные применения
В производстве полупроводника, весьма тонкие вафли помещены на высасывателях вакуума кремниевого карбида, соединенных с генератором вакуума, и вафли зафиксированы всасыванием вакуума.
Использованный в литографировании, вытравливании, лазере обрабатывая, испытывать вафли и другом процессе.
Особенности и преимущества
Точные размер и термическая стабильность
Хорошая термальная проводимость, низкий коэффициент расширения и единообразие температуры
Весьма высокую износостойкость и финиш поверхности, точный размер поры и однородное распределение, можно равномерно адсорбировать ко всем зонам вафли
Превосходная коррозионная устойчивость кислоты и алкалиа
Сопротивление удара плазмы
Спецификации
Смогите быть подгоняно согласно обработке чертежей клиента.