Обновленная версия EM3200, которая является бестселлером в списке сканирующей электронной микроскопии KYKY, имеет более 20 продаж в год с 2014 года, и это самая доступная напольная электронная сканирующая электронная микроскопия на рынке. Многоязычная операционная система, встроенная панель управления, клиент может управлять всем устройством просто с помощью мыши и клавиатуры, комплексный план послепродажного обслуживания с пожизненной технической поддержкой. Являясь KYKY более чем 60-летним опытом производства SEM, вся серия EM поддерживает отремонтированную и настроенную систему старой системы, такую как SEM +, такую как реконструкция электронно-лучевой литографии, модернизация LaB6, интегрированная с STM, AFM, нагревательная ступень, крио-ступень, растяжимая ступень, микро- нано манипулятор и т. д. Система также имеет несколько интерфейсов в камере для подключения большей части детектора анализа на рынке.
Преимущества:
◆ доступный SEM
◆ английская панель управления,
◆ Полный набор автоматизированного программного обеспечения
◆ Доступен сервис модификации
◆ бестселлер SEM
Характеристики:
| Вещь | EM6200 Эко-вольфрамовая нить SEM | |
| разрешение | 4,5 нм, 30 кВ (SE), 6 нм, 30 кВ (BSE) | |
| увеличение | Отрицательное увеличение: 15X × 250000X Увеличение экрана: 30X × 500000X | |
| Электронная пушка | Вольфрамовый нагревательный катодный предварительно центрированный вольфрамовый патрон | |
| Ускоряющее напряжение | 0 ~ 30 кВ | |
| Система линз | Трехуровневая электромагнитная линза (Коническая линза) | |
| Объективная диафрагма | Отверстие молибдена регулируется вне вакуумной системы | |
| Стадия образца | Этап пяти осей | |
| Путешествовать | X (Авто) | 0 ~ 50 мм |
| Спектр | Y (Авто) | 0 ~ 50 мм |
| Z (Manual) | 0 ~ 25 мм | |
| R (Руководство) | 360 ° | |
| Т (Руководство) | -5 ° ~ 90 ° | |
| Максимальный диаметр образца | 150мм | |
| детектор | Высоковакуумный вторичный электронный детектор (с защитой детектора) | |
| модификация | Модернизация стадии; EBL; STM; AFM; стадия нагрева; криостадия; растяжимая стадия; микро-нано манипулятор; SEM + лакировочная машина; SEM + лазер | |
| аксессуары | CCD, LaB6, рентгеновский детектор (EDS), EBSD, CL, WDS, лакировочная машина | |
| Вакуумная система | Турбо молекулярные насосы; насос вращения | |
| ПК | Индивидуальная рабочая станция Dell | |