1. servocontrol, высокая располагая точность и ровное движение
2. Предварительный автоматический объектив с переменным фокусным расстоянием 0.7-0.45x, видео- увеличение на мониторе может достигнуть 780x
3. быстрые автоматический фокус, поэтому легкий для inpecting вафли
4. Деятельность кнюппеля и мыши, легкая для использования
5. Programmable света СИД холодные, светлое tensity можно отрегулировать автоматически согласовывающ положение вафли и различное увеличение
| Модель | APC300 |
| Ход XYZ | 300*200*200mm |
| Вынуждающая система | Управление мотора сервопривода |
| Скорость | 200 mm/s |
| Разрешение | 0.0005mm (0.5μm) |
| Точность | 2,5 + L/200 (μm) |
| Программное обеспечение | Программное обеспечение MicroCheck измеряя |
| Видео- система |
Камера CCD: Камера CCD цвета Sentech Полные увеличения: 27X-780X Взгляд объекта: 10.6mm-1.6mm |
| Освещение | Свет Programmable СИД отражательный и переданный |
| Электропитание | AC220V/110V 50/60 Hz |