Высокая печь трубки лаборатории температуры разделенная ПЭКВД с трубкой кварца
Умное введение ПЭКВД:
Система ПЭКВД конструирована для того чтобы уменьшить температуру реакции традиционного КВД. Она установила оборудование индукции РФ перед традиционным КВД для того чтобы ионизировать реагировать газ, поэтому плазма произведена. Плазма высокорадиоактивная реакция ускоренные ход должные к высокорадиоактивному плазмы. Так, эта система вызвана ПЭКВД.
Эта модель новое изделие, она синтезировала преимущества большинств систем трубки ПЭКВД, и добавила подогревая зону в фронте системы ПЭКВД. Тесты показали что скорость низложения более быстра, качество фильма лучшие, отверстия, и не треснут. Система управления АИСО полностью автоматическая умная независимо конструирована нашей компанией, более удобно работать и своя функция более сильна.
Широкий ряд применения: металлопленочный, керамический фильм, составной фильм, непрерывный рост различных фильмов. Легкий для увеличения функции, смогите расширить етч чистки плазмы и другие функции
Основная особенность:
- Высокий тариф низложения фильма: Технология зарева РФ, значительно увеличивая тариф низложения фильма, тариф низложения может достигнуть 10Å/с
- Высокое единообразие зоны: Предварительная многопунктовая технология РФ питаясь, особенное распределение пути газа, и технология топления, етк., делают достигаемость 8% индекса единообразия фильма
- Высокая последовательность: используя предварительную идею проекта индустрии полупроводника, отступление между субстратами одного низложения чем 2%
- Высокая отростчатая стабильность: Сильно стабилизированное оборудование обеспечивает непрерывный и стабилизированный процесс

Запасные части стандарта:
- Затыкать ПК трубки 4
- ПК трубки печи 1
- ПК вакуумного насоса 1
- Наборы фланца 2 запечатывания вакуума
- ПК датчика вакуума 1
- Доставка & вакуумный насос газа
- Оборудование плазмы РФ
Опционные запасные части:
- Фланец быстрого выпуска, трехсторонний фланец
- 7 скре касания дюйма ХД
Стандартные технические условия печи трубки лаборатории разделенные ПЭКВД:
| 1. Система отопления |
| Макс.температуре |
1200℃ (1 час) |
| Работая температура |
≤1100℃ |
| Размер камеры |
Φ100*1650мм (дяматер трубки ориентировано на заказчика) |
| Материал камеры |
Доска волокна глинозема особой чистоты |
| Термопара |
Тип к |
| Температуреаккураси |
±1℃ |
| Контроль температуры |
этапы ● 50 программабле для точного контроля тарифа на отопление, охлаждая тарифа и времени двелл.
● построенное в функции Автоматическ-настройки ПИД с перегревая & сломанная защитой сломанной термопарой.
Станция автоматического регулирования ПЛК ● регулятором ПК внутрь.
● система контроля температуры, сползая систему (время и расстояние) смогло быть проконтролировано программой.
|
| Длина топления |
440мм |
| Постоянн длина топления |
200мм |
| Нагревающий элемент |
Провод сопротивления |
| Электропитание |
Одиночная фаза, 220В, 50Хз |
| Расклассифицированная сила |
9кВ |
| 2. Источник плазмы РФ |
| Частота РФ |
13,56 МХз±0.005% |
| Сила выхода |
500В |
| Макс отражает силу |
500В |
| РФ вывел наружу интерфейс |
50 Ω, Н типа, женских |
| Стабильность силы |
±0.1% |
| Гармоническая составляющая |
≤-50дбк |
| Подача напряжения/частота |
Одиночная фаза АК220В 50/60ХЗ |
| Вся эффективность |
>=70% |
| Фактор силы |
>=90% |
| Охлаждая метод |
Принуженный - воздух |
| 3. Система управления 3 счетчиков- расходомеров точности массовая |
| Внешний размер |
600кс600кс650мм |
| Тип соединителя |
Соединение Свагелок СС |
| Стандартный ряд (н2) |
0~100сккм, 0~200сккм, или ориентированное на заказчика |
| Точность |
±1.5% |
| Линейный |
±0.5~1.5% |
| Повторимость |
±0.2% |
| Время на ответ |
Свойство газа: Сек 1~4; Электрическое свойство: Сек 10
|
| Ряд давления |
0.1~0.5 МПа |
| Макс.прессуре |
3МПа |
| Интерфейс |
Φ6,1/4» |
| Дисплей |
дисплей 4 чисел |
| Температура окружающей среды |
газ особой чистоты 5~45 |
| Манометр |
- 0.1~0.15 МПа, 0,01 МПа/блок |
| Остановите клапан |
Φ6 |
| Отполируйте трубку СС |
Φ6 |
| Низкая включенная система вакуума |
Почему печь трубки лаборатории брата разделенная ПЭКВД?
- Изготовитель с опытом лет 10+
- Самое лучшее качество
- Подгонянный дизайн
- Лицо имеющее трудовые стажи
- Большая фабрика
Клиенты от больше чем 30 стран выбирают нас
- Удовлетворенные клиенты предлагают доказательство нашего обязательства к превосходным дизайну, качеству и эффективности затрат.
Самое лучшее обслуживание, быстрая реакция
- Освободите дизайн для особенной печи
- Освободите службу технической поддержки для продолжительности жизни
- Освободите типовой тест
Если вы заинтересованы в нашей высокой печи трубки лаборатории температуры разделенной ПЭКВД с трубкой кварца, то свяжитесь мы теперь для того чтобы получить цитату!