Разрешение электронного кинескопа 15nm сканирования 60,000X увеличения максимальное с опционным EDS
Как основные настольные SEM, серия M22001 может отвечать основные экспириментально потребностямы большинств потребителей. Она оборудована с детектором SE (вторичного электрона) и детектором BSE (backscattered электрона). Платформу нагрузки можно установить с 3 осями (x, y, r). Ручную платформу можно также модернизировать до платформы 5-оси (x, y, r, z, t) автоматической. Спектральный анализатор EDS можно установить во всей серии продуктов. Продукты включают следующие конфигурации:
Экстренныйые выпуски:
- Увеличение максимальное 60,000X.
- Обнаружение сигнала: Детектор SE Detector+BSE.
- Ускоряя ход напряжение тока: 5kV к 30KV, высокому разрешению изображения.
- EDS опционный, для компонентного анализа.
- Система глубокого вакуума.
- Конфигурация этапа наклона (0~45°) (опционное).
| Деталь | Спецификация | M22001 | |
| Разрешение | 15nm (изображение 30kV, SE) | ● | |
| 20nm (изображение 30kV, BSE) | ● | ||
| Увеличение | 30x~60,000x | ● | |
| Ускоряя ход напряжение тока | 5kV к 30kV (шаг 5kV/10kV/15kV/20kV/30kV-5) | ● | |
|
Обнаружение сигнала
|
(SEI) - вторичное электронное изображение | ● | |
| (BSEI) - Backscattered электронное изображение | ○ | ||
| * Multi детектор (SEI+BSEI) | ○ | ||
| Режим замечания | Стандартный режим | ● | |
| Режим уменьшения обязанности-вверх | ● | ||
| Электронная пушка | Тип нити, Pre центризованный патрон нити вольфрама | ● | |
| Система напряжения смещения, автоматический режим | ● | ||
| Выравнивание электронной пушки, ручной режим | ● | ||
| Система объектива | Объектив фокуса, 2-ступенчатый электромагнитный объектив конденсатора | ● | |
| Линзы объектива, 1 линзы объектива этапа электромагнитная | ● | ||
| Тип детектора, детектор BSE детектора SE | ● | ||
| Система этапа |
Автоматический или ручной Траверза этапа, система 3 осей, x, Y-osь: 35mm/R-ось: 360° |
● | |
| Перенос изображения | Перенос изображения x, перенос изображения y (±150um) | ● | |
| Максимальный размер выборки | 70mm в диаметре, 30mm в высоте | ● | |
| Система сканирования изображения | Быстрая развертка: 320x240 (время развертки: 0,1 sec.) | ● | |
| Медленная развертка: 640x480 (время развертки: sec 3.) | ● | ||
| Режим 1 фото: 1280x960 | ● | ||
| Режим 2 фото: 2560x1920 | ● | ||
| Режим 3 фото: 5120x3840 | ● | ||
| Формат изображения | BMP, JPEG, PNG, TIFF | ● | |
| Отображение данных | Увеличение, тип детектора, ускоряя ход напряжение тока, вакуумирует режим, логотип (текст), дату и время, отправляет SMS отметке, бару масштаба | ● | |
| Система вакуума |
Полностью автоматический Multi режим, глубокий вакуум Роторное Pump/100Liters/min Насос 70Liters/sec Turbo молекулярный время простоя насоса: меньше чем 3 минуты |
● | |
| Система блока управления |
Мышь, клавиатура ПК |
● | |
| Функция программного обеспечения |
Графический файл раскрывает, редактирует, сохраняет функцию Длина, зона, измерять угла начинание параметра, преобразование режима захвата mage), архивы, установка (EDS) |
● | |
| Том | Главное (w) ×600 (d) × Unit-460 950 (h) mm ...... 1set Внешний вакуум pump-400 (w) ×160 (d) ×340 (h) mm… 1set |
● | |
| Вес | 99kg | ● | |
| Окружающая среда оборудования |
Температура: 15℃~30℃ Источник питания: AC одиночной фазы 200~240V, 1KW, 50/60Hz |
● | |
|
Пакет аксессуаров: |
|||
| Pre центризованная нить вольфрама | 5 ПК/коробка | ● | |
|
Этап образца
|
dia 15mm. (10 ПК) | ● | |
| dia 25mm. (10 ПК) | ● | ||
| наклон 45° 15mm (5 ПК) | ● | ||
| 15mm 90° опрокидывают (5pcs) | ● | ||
| Мастер высоты стандартный | 1ea | ● | |
| разводной гаечный ключ | 1set | ● | |
| CD программного обеспечения SEM | 1ea | ● | |
| Лента углерода проводная | 1roll | ● | |
| ножницы | 1ea | ● | |
| щипчики | 1ea | ● | |
| Коробка инструментов | 1ea | ● | |
Примечание:● значит стандарт, ○ значит опционное
Результаты типового теста
Мы проводили практический тест используя неполноценный винт который был сброшен в лаборатории как образец. Изображения следующим образом:

Винт, ×47, 30 kV, SE, глубокий вакуум

×100, 10kV, SE, глубокий вакуум

×100, 10kV, SE, глубокий вакуум

×500, 10kV, SE, глубокий вакуум

×500, 10kV, SE, глубокий вакуум

×1000, 10kV, SE, глубокий вакуум
Другие изображения:

Керамическое ×5000 Батарея материальное ×10K

Фитопланктон ×8000 Порошок ×1000 жемчуга
