Гладкость c плоская высокая и высокий субстрат сапфира чистоты для полупроводника
Вафли сапфира главным образом соответствующие для научных исследований и разработки новых полупроводниковых устройств, предлагая высокие спецификации как высокая гладкость и высокая чистота в дополнение к традиционным стандартным сортам субстрата сапфира.
Основные особенности
• Высокопрочная, высокая твердость, высокая износостойкость (твердость во-вторых только к диаманту)
• Высокая пропускаемость (светлая пропускаемость в ультрафиолетовом луче к ультракрасному ряду)
• Высокая коррозионная устойчивость (высокая устойчивость к кислоте, алкалиу, плазме)
• Высокая изоляция (изолятор, не легкий для того чтобы проводить электричество)
• Тепловая проводимость сопротивления высокой жары (точки плавления 2050℃) (40 раз стекла)
Спецификация
• Нормальный размер (φ2 «, 3", 4", 6", 8", 12 "), другие особенный размер, угловая форма и другие формы могут соответствовать.
• Смогите соответствовать разнообразие плоской ориентации: c-самолет, r-самолет, m-самолет, -самолет
• Двухсторонний молоть, одно-встал на сторону мелющ
• Ориентированный на заказчика пробивать



| Материалы Кристл | 99 996% из Al2O3, особая чистота, Monocrystalline, Al2O3 | ||||
| Качество Кристл | Включения, метки блока, близнецы, цвет, микро-пузыри и центры разгона несуществующий | ||||
| Диаметр | 2inch | 3inch | 4inch | 5inch | 7inch | |
| 50.8± 0.1mm | 76.2±0.2mm | 100±0.3mm | В соответствии с обеспечениями стандартной продукции | ||
| Толщина | 430±15µm | 550±15µm | 650±20µm | Смогите быть подгоняно клиентом | |
| Ориентация | C- самолет (0001) к M-самолету (1-100) или -самолету (1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3 ±0.1°, R-самолет (1-1 0 2), -самолет (1 1-2 0), M-самолет (1-1 0 0), любая ориентация, любой угол | ||||
| Основная плоская длина | 16.0±1mm | 22.0±1.0mm | 32.5±1.5 mm | В соответствии с обеспечениями стандартной продукции | |
| Основная плоская ориентация | ± 0.2° -самолета (1 1-2 0) | ||||
| TTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm | |
| LTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm | |
| TIR | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm | |
| СМЫЧОК | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm | |
| Искривление | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm | |
| Лицевая поверхность | Epi-отполированный (Ра< 0=""> | ||||
| Задняя поверхность | Точная Epi-отполированная земля (Ra=0.5 к µm 1,2), (Ра< 0=""> | ||||
| Примечание | Смогите обеспечить высококачественную вафлю субстрата сапфира согласно требованию к клиентов специфическому | ||||
ФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
| Плотность | 3,97 g/cm3 |
| Точка плавления | 2040 градусов c |
| Термальная проводимость | 27,21 с (m x k) на 300 k |
| Тепловое расширение | 5,6 x 10 -6 /K (параллельная C-ось) & 5,0 (перпендикулярных C-ось) x 10 -6 /K |
| Твердость | Knoop 2000 kg/mm 2 с индентером 2000g |
| Специфическая теплоемкость | 419 J/(kg x k) |
| Диэлектрическая константа | 11,5 (параллельная C-ось) 9,4 (перпендикулярная C-ось) на 1MHz |
| Young модуль (e) | 335 GPa |
| Модуль ножниц (g) | 148,1 GPa |
| Модуль основной массы (k) | 240 GPa |
| Эластичные коэффициенты | C11=496C12=164C13=115 C33=498C44=148 |
| Явный предел упругости | MPa 275 (40 000 psi) |
| Коэффициент Poisson | 0,25 |

Проверка принятия
