Блеск вафли LiNbO3 одно дюйма 0.5mm Y64-Cut 4 бортовой
Кристалл LiNbO3 имеет trigonal симметрию, и вектор поляризации лежит вдоль c-оси. Образцы LiNbO3 были poled поставщиком немедленно после роста. После poling процедуры, кристаллы LNO остаются в государстве одно-домена, и реполяризация/располяризация не происходят на комнатной температуре (RT).
Материал |
LiNbO3 Кристл |
Ориентация |
X / Z/Y41 °/Y64 °/Y128 °/YZ/YX или подгонянный |
Диаметр |
Φ76.2mm (3 дюйма); Φ100mm (4 дюйма); Φ150mm (6 дюймов) |
Поверхностный финиш |
Одно/блеск обеих сторон |
Толщина |
350±25um/500±25um |
TTV |
< 1=""> |
СМЫЧОК |
± (25um ~40um) |
Искривление |
<> |
LTV (5mmx5mm) |
<1> |
PLTV (<0> |
≥98%(5mm*5mm)сисключеннымкраем2mm |
Край |
Compl't с SEMI M1.2@with GC800# .regular на c напечатало |
Квартиры ориентации |
доступный, в запрос |
Отполированный бортовой Ра |
Ра шершавости<> |
Задние бортовые критерии |
Ра шершавости: 0.5-1.0µm GC#1000 |
Округление края |
Уступчивый с SEMI стандартом M1.2/см. IEC62276 |
Отказы, метки пилы, пятна |
Никакие |
Проверка принятия