Модель машины: RT1200-FCEV

Технология: с PECVD + PVD Magnetron Sputtering Depositing: Si, Cr, графитные цели, для генерации неуравновешенного замкнутого магнитного поля для высокой плотности,высокая однородность и отличная коррозионная стойкость пленки на основе углерода.

Это...RT1200-FCEVСистема высоковакуумного магниторонного распыливания - это модель, созданная на заказ, которая относится к модели Multi950-R&D, которую мы построили для Шанхайского университета.

Он спроектирован с октальной камерой, гибкие и надежные характеристики широко используются в различных приложениях.Графит, Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS и многие другие неферромагнитные металлы; плюс ионный источник,

эффективно повышает сцепление пленки с различными материалами подложки с помощью плазменной гравировки и процесса PECVD для отложения некоторых слоев на основе углерода.
Структура оборудования:
Вертикальная ориентация, восьмиугольная структура, две двери открываются (передняя и задняя) для легкого доступа.
Характеристики оборудования:
Экологически чистая система, без опасных отходов
Высокая интеграция, модульный дизайн
Коммерциализирован и стандартизирован для промышленного массового производства
Чрезвычайно эффективный ионный источник для сильной адгезии и высокой ионизации
Простая работа: сенсорный экран + управление PLC, одна сенсорная операция
С помощью программного обеспечения Royal Technology можно программировать, сохранять и воспроизводить параметры процесса
Специальная конструкция системы карусели для высокоравномерного отложения
Высокая производительность и стабильность, работа 24 часа в сутки
Гибкий, подходит для различных размеров пластины, для одностороннего или двустороннего покрытия
Продуктивность пленки покрытия PVD и PECVD:
Для улучшения проводимости поверхности
Высокая коррозионная устойчивость
Высокая износостойкость
Высокая твердость
Гидрофобная композиционная пленка и другие функциональные пленки
Доступно для сложных покрытий: металлических и неметаллических пленок
Толщина пленки составляет от 100 нм до 12 мкм, толерантность толщины ± 5% Сильная адгезия
Обработка поверхностного отверждения деталей с низкой температурой

 

Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительных сведений, Royal Technology с честью предоставит вам полные решения по покрытию.