Машина для нанесения магнетронного напыления из чистого металла постоянного тока, машина для нанесения ультратонких пленок из меди/серебра/золота/графита

Производительность

1. Предельное вакуумметрическое давление: лучше 5,0×10^-6Торр.

2. Рабочее давление вакуума: 1,0×10^-4Торр.

3. Время откачки: от 1 атм до 1,0×10^-4Torr≤ 3 минуты (комнатная температура, сухая, чистая и пустая камера)

4. Металлизирующий материал (напыление + дуговое напыление): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr и т.д.

5. Операционная модель: полностью автоматический/полуавтоматический/ручной

Структура

Вакуумная лакировальная машина содержит ключевую завершенную систему, указанную ниже:

1. Вакуумная камера

2. Вакуумная насосная система для промывки (блок форвакуумного насоса)

3. Высоковакуумная насосная система (молекулярный насос с магнитной подвеской)

4. Электрическая система управления и эксплуатации

5. Система вспомогательных помещений (подсистема)

6. Система осаждения

Основные характеристики машины для нанесения покрытия напылением меди

1. Оснащен 8 направляющими дуговыми катодами и катодами для распыления постоянного тока, катодами для распыления MF, блоком источника ионов.

2. Доступно многослойное и совместное покрытие.

3. Источник ионов для предварительной обработки плазменной очистки и осаждения с помощью ионного луча для повышения адгезии пленки.

4. Блок нагрева керамических/Al2O3/AlN подложек;

5. Система вращения и вращения подложки для одностороннего и двустороннего покрытия.

Установка для нанесения магнетронного напыления Cooper на керамическую излучающую подложку

Процесс DPC — прямое нанесение меди — это передовая технология покрытия, применяемая в светодиодной, полупроводниковой и электронной промышленности.Одним из типичных применений является керамическая излучающая подложка.

Осаждение проводящей пленки Cooper на подложках Al2O3, AlN с помощью технологии вакуумного напыления PVD по сравнению с традиционными методами производства: DBC LTCC HTCC, его отличительной чертой является гораздо более низкая стоимость производства.

Королевская технологическая команда помогла нашему клиенту успешно разработать процесс DPC с технологией напыления PVD.

Машина RTAC1215-SP предназначена исключительно для нанесения медной проводящей пленки на керамические чипы, керамические печатные платы.

Пожалуйста, свяжитесь с нами для получения дополнительных спецификаций, Royal Technology имеет честь предоставить вам комплексные решения для покрытий.