Серия RTAS интегрированная множественная машина источников низложения к общим цветам графита, черноты двигателя, голубых, медных и бронзовых на частях металла, объектах нержавеющей стали. Особенно использованный для частей класса верхнего сегмента роскошных.
Стандартное применение
Ювелирные изделия, ремешки и тела, спорт нержавеющей стали, писать аппаратуры
Бытовая электроника: Мобильный телефон, ноутбук, камера, трутни



Машины RTAS оборудованные с дугой круга и цилиндром брызгая источники низложения. Множественный DC сочетаний из брызгая, брызгать MF, испарение дуги и источник иона etc. совсем доступен в одной одиночной машине, для высокой гибкости в конфигурациях удовлетворять различные применения. Особенно для покрытий небольших компонентов астетических: чернота двигателя, медь, латунь и хромовые краски.

Что MF брызгает?
Сравненный с DC и RF брызгая, брызгать Средний-частоты стал главным тонким фильмом брызгая метод для массового производства покрытия, особенно для низложения фильма диэлектрических и непроводящих покрытий фильма на поверхностях как оптически покрытия, панели солнечных батарей, множественные слои, фильм etc композиционного материала.
Оно заменяет брызгать RF должный к нему работало с КГц а не MHz для гораздо быстрее тарифа низложения и также может избежать отравления цели во время низложения тонкого фильма смеси как DC.
MF брызгая цели всегда существовал с 2-наборами. 2 катода использованы с течением AC переключили взад и вперед между ими которое очищает поверхность цели с каждым реверсированием для уменьшения обязанности построить вверх на dielectrics что руководства к образовывать дугу который может извергать капельки в плазму и предотвратить равномерный рост тонкого фильма который чего мы вызвали Целью Отравлением.

Техническое Specificaitons

| Нет. | Имя |
| 1 | Насосная система вакуума: Насос Turbo молекулярный + насос корней Pump+ механический + держащ насос |
| 2 | Система вакуума измеряя: Pirani + пишущ датчики |
| 3 | Система отопления: подогреватели для субстратов нагревая вверх для того чтобы улучшить прилипание |
| 4 | Вода/обжатая система распределения воздуха: модульное проектирование и fabaricated |
| 5 | Цилиндр брызгая катоды: 2/4/6/8 пар целей близнецов для варианта |
| 6 | Запорная заслонка вакуума (как вариант) |
| 7 | Электрическое приложение (стандарт CE) |
| 8 | Камера вакуума (SS304/316L как спрошено) |
| 9 | Катодный источник дуги (обычные катоды дуги) |
| 10 | Порт взгляда (2 распределенное на двери для осмотра внутрь камеры низложения) |
| 11 | Обрабатывающ систему распределения газа (регулятор потока метра для 4 каналов) |
| 12 | Вынуждающая система шкафа (планетарная управляя модель) |
| 13 | Carousel |

| Описание | RTAS1250 | RTAS1612 |
| Камера низложения (mm) | φ1250 * H1250 | φ1600 * H1250 |
|
Планетарный управлять Эффективная покрывая область (mm) |
8: φ270*H850 10: φ230*H850 |
10: φ300*H850 16: φ200*H850 |
| Катод дуги круга (наборы) | 7 | 12 |
| Цилиндр брызгая катоды (пары) | 3 /4 | 4 / 6 |
|
Пульсированная косая сила (KW) |
36 | 48 |
| DC/MF брызгая сила (KW) | 36 | 4*36 |
| Сила дуги (KW) | 7*5 | 12*5 |
| Вакуумные насосы |
Насосы 2* Turbo молекулярные 1*SV300B 1*WAU1001 1*TRP60 |
Насосы 3* Turbo молекулярные 2*SV300B 1*WAU2001 1*TRP90 |
| Максимальный расход энергии (KW) | 200 | 245 |
| Потребление средней мощности (KW) | <75> | <100> |
| Космос деятельности (L*W*H) mm | 4300*3700*2800 | 5000*4000*2800 |
Гибкие конфигурации: машина установленная согласно покрывая требованиям к процессов и клиентов
Insite

