Спецификации
Номер модели :
РТСП1200
Место происхождения :
Сделанный в Китае
Количество минимального заказа :
1 набор
Условия оплаты :
L/C,T/T
Способность поставки :
8 наборов в месяц
Срок поставки :
12~16 недель
Упаковывая детали :
Экспортируйте стандарт, быть упакованным в новых делах/коробках, соответствующих для международных о
Модель :
Система периодического нанесения покрытия
Пленки для покрытий :
сильная адгезия, низкий коэффициент трения, коррозионная стойкость, высокая плотность и однородность
преимущества :
Большая емкость, интеллектуальная конструкция, длительное время безотказной работы и высокая произво
Проектирование :
Октальная камера, 4 распыляющих катода, 1 линейный источник ионов
Местонахождение завода :
Город Шанхая, Китай
Всемирное обслуживание :
Польша - Европа; Иран западные Азия & Ближний Восток, Турция, Индия, Мексика Южная Америка
Образовательная услуга :
Деятельность машины, обслуживание, покрывая отростчатые рецепты, программа
Гарантия :
Ограниченная гарантия 1 год бесплатно, вся жизнь для машины
OEM & ODM :
доступный, мы поддерживаем дизайн и изготовление сделанные портноем
Описание

Осаждение танталя, Золото драгоценные металлы путем распыливания 

Спутринг широко используется для отложения огнеупорных металлов, таких как тантал, титан, вольфрам,Ниобий, который требует очень высоких температур осаждения, и драгоценные металлы: золото и серебро, которые также используются для отложения металлов с низкой температурой плавления, таких как медь, алюминий, никель, хром и т. д.

Тантал чаще всего используется в электронной промышленностькак защитное покрытие из-за его хорошей устойчивости к эрозии.

Пленки с распыленным танталом широко используются в
1- микроэлектронная промышленность, поскольку пленки могут быть реактивно распылены и, таким образом, сопротивляемость и температурный коэффициент сопротивления могут контролироваться;

2Медицинские инструменты, такие как имплантаты для тела, благодаря их высокой биосовместимости;

3. покрытия на коррозионностойких деталях, таких как термоуборы, корпуса клапанов и крепежные элементы;

4.Тантал, распыляемый, также может использоваться в качестве эффективного барьера для коррозионной стойкости, если покрытие непрерывное, дефектное и прилипает к субстрату..

Королевская технологияСтандартная система отложения танталом с помощью распыливания: модель RTSP1000.
 
Свойства пленки, распыляемой танталом:
Низкое сопротивление

Высококоррозионные и износоустойчивые покрытия поверхности, подвергаются высокому напряжению и суровой химической и эрозионной среде. 


Конструктивные особенности:

Прочный дизайн, стабильное качество, быстрый цикл, высокая точность системы


Основные конфигурации

Модель

RTSP1000

Технологии

Противомоторная магниторонная распылка + катодная дуговая облицовка

Материалы для камер

Нержавеющая сталь (S304)  

Размер камеры

Φ1000*1600 мм (H) 

Тип камеры

Форма D, цилиндрическая камера

Система ротационного стойки и подъемника 

Спутниковое управление или центральная система управления

 ПРЕДСТАВЛЕНИЯ

Электрическое питание для распыливания постоянного тока: 2 ~ 4 комплекта 
Предусмотренное питание: 1 комплект

Ионный источник: 1 комплект                                                                                                                                                                      

Материал для депонирования

Ti/Cr/TiAl, Ta, Au, Ag, Cu И так далее.

Источник сдачи

Планарные распыляющие катоды + циркулярные дуговые катоды

Контроль

ПЛК ((Программируемый логический контроллер) + сенсорный экран                
 
(модели ручной + автоматической + полуавтоматической работы)             

Система насоса

Ротационный насос: SV300B - 1 комплект (Лейболд)  

Корневой насос: WAU1001 - 1 комплект (Leybold)

Удерживающий насос: D60C - 1 комплект (Leybold)

Магнитный молекулярный насос:
MAG2200 - 2 сест (Лейбольд)

Контроллер потока массы газа

2каналы: Ar и N2

Вакуумный измеритель

 Inficon или Leybold

Система безопасности

Многочисленные блокировки безопасности для защиты операторов и экипировки

Отопление

Нагреватели:20КВ. Максимальная температура: 450°C

СОХЛЕДЕНИЕ

Промышленный холодильник (холодная вода)

ПОУэр Макс.  

100 КВт (приблизительно)

Среднее потребление электроэнергии

45 КВт (приблизительно)

Вес брутто 

 T (приблизительно)

Отпечаток стопы

(Л*В*Х) 4000*4000*3600 мм 

 Электрическая энергия

Линия переменного тока 380В/3 фазы/50Гц / 5                                             


Структура оборудования:

Структура системы покрытия: вертикальная ориентация, восьмиугольная структура, 2 двери для легкого доступа.

Экологически чистая система, без опасных отходов.

Полная интеграция, модульный дизайн
Коммерциализирован и стандартизирован для промышленного массового производства
Чрезвычайно эффективный ионный источник для сильной адгезии и высокой ионизации.
Простая работа: сенсорный экран + управление PLC, одна сенсорная операция
Специальная конструкция системы карусели для высокой однородности отложения.
Высокая производительность и стабильность, работа 24 часа в сутки.
Гибкий, подходит для различных размеров пластинок

Ключевые компоненты

Система отложения тантального (Ta) тонкопленочного магнитронного распылителя-RTSP1000

Ионный источник для процесса вспомогательного депонирования:


Система отложения тантального (Ta) тонкопленочного магнитронного распылителя-RTSP1000

Ионный источник для процесса плазменного итехирования:

Система отложения тантального (Ta) тонкопленочного магнитронного распылителя-RTSP1000

Машина RT1200-FCEV представляет собой систему распыливания, которая может откладывать различные твердые покрытия, мягкие покрытия,сложные пленки и твердые смазочные пленки на металлических и неметаллических материалахПрименяется в промышленности водородных топливных элементов транспортных средств, фотонических изделий, аэрокосмической и других новых энергетических отраслей.


Использование отложения пленки:

Для улучшения проводимости поверхности;

высокая коррозионная стойкость;

Высокая износостойкость;

Высокая твердость

Гидрофобная композиционная пленка и другие функциональные пленки

Доступен для сложных покрытий: металлических и неметаллических пленок.

Диапазон толщины пленки от 100nm до 12μm, допустимость толщины ± 5%

Сильное сцепление.

Обработка поверхностного закаливания низкотемпературных деталей.


Тип:

Вертикальная ориентация, октальная структура, 2-дверная (передняя и задняя)

Преимущества конструкции:

  • Экологически безопасная система, отсутствие промышленных сточных вод, загрязнения воздуха и шума;
  • Простая работа: сенсорный экран + управление PLC и уникальная программная программа для одной сенсорной операции, более 80% тревога о сбоях.
  • До 10 рецептов обработки входа и резервного копирования; высокая повторяемость и разнообразие.
  • Специальная конструкция системы карусели для высокой однородности отложения пленки.
  • Высокая производительность и высокое качество
  • Стабильная и надежная система, работающая 365 дней * 24 часа (время перерыва на обслуживание и ремонт)
  • Эффективная насосная система: более короткие вакуумные трубопроводы для максимальной скорости трубопроводов с известными европейскими марками насосов
  • Компактная конструкция занимает минимальное пространство для установки.

Команда Royal Tech гордится тем, что смогла предоставить вам лучший сервис и знания.

Отправьте сообщение этому поставщику
Отправляй сейчас

Система отложения тантального (Ta) тонкопленочного магнитронного распылителя-RTSP1000

Спросите последнюю цену
Смотрите видео
Номер модели :
РТСП1200
Место происхождения :
Сделанный в Китае
Количество минимального заказа :
1 набор
Условия оплаты :
L/C,T/T
Способность поставки :
8 наборов в месяц
Срок поставки :
12~16 недель
Контактный поставщик
видео
Система отложения тантального (Ta) тонкопленочного магнитронного распылителя-RTSP1000
Система отложения тантального (Ta) тонкопленочного магнитронного распылителя-RTSP1000
Система отложения тантального (Ta) тонкопленочного магнитронного распылителя-RTSP1000
Система отложения тантального (Ta) тонкопленочного магнитронного распылителя-RTSP1000

SHANGHAI ROYAL TECHNOLOGY INC.

Verified Supplier
8 Годы
С тех пор 2006
Вид деятельности :
Manufacturer, Importer, Exporter
Основные продукты :
, ,
Количество работников :
10~49
Уровень сертификации :
Verified Supplier
Узнайте о аналогичных продуктах
Смотрите больше
Контактный поставщик
Требование о предоставлении