подъемник для пластинки сапфировый подъемник для передачи пластинки Al2O3

Обзор сапфирового подъемного булава

Сапфировые подъемники являются критическими компонентами, используемыми в процессе передачи пластинок в производстве полупроводников.Эти булавки высоко ценятся за их исключительную механическую прочность и точную стабильность размеров, которые сохраняются даже в экстремальных условиях, таких как высокие температуры и химически агрессивные плазменные среды.существенный вклад в эффективность и урожайность производства полупроводниковВ результате сапфировые подъемные булавки необходимы для обеспечения качества и успеха производственного процесса.

особенность сапфирового подъемного булава

• Высокая механическая прочность:Сапфировые подъемные булавы предлагают высокую долговечность и устойчивость к механическим нагрузкам, обеспечивая надежную производительность в сложных условиях.
• Точная размерная стабильность:Они поддерживают точные габариты в течение длительного периода времени, что имеет решающее значение для последовательной обработки и выравнивания пластинок.
• Устойчивость к высоким температурам:Способен выдерживать экстремальные температуры, что делает его подходящим для использования в высокотемпературных полупроводниковых процессах.
• Устойчивость к химическим веществам:Устойчивость к суровым химическим веществам и плазме, обеспечивающая долговечность и надежность в химически агрессивных условиях.
• Улучшенная точность:Разработан для обеспечения точного контроля и стабильности во время передачи пластинок, повышая эффективность и урожайность процесса.
• Последовательность в работе:Надежная при длительном использовании, уменьшая необходимость частой замены и обслуживания.

Материал

Однокристаллический сапфир

Точность

Стандартное допустимое значение (мм, номинальные размеры: а)

1>a	: ±0.05
1 ¢a ¢4	: ±0.1
4 < a ¢ 25	: ±0.2
25 < a ̇ 102	:±0.25
102 < a ¢ 190	: ±0.5
190 < а	: ± 1

Эти особенности делают Sapphire Lift Pins важными компонентами для производства высокопроизводительных полупроводников.

витрины сапфировых подъемных булав

применение сапфирового подъемного булава

Производство полупроводников: используемые в процессах передачи пластинок, сапфировые подъемные булавки облегчают точную обработку и позиционирование пластинок на критических этапах производства полупроводников.

Обработка пластин: необходима для точной выравнивания и движения пластин в различных стадиях обработки, включая гравировку, осаждение и фотолитографию.

Средства высокой температуры: применяются в условиях с экстремальными температурами, например, в процессах плазменного офорта и осаждения, благодаря их отличной тепловой устойчивости.

Химически устойчивые среды: идеально подходит для использования в системах, подверженных воздействию суровых химических веществ и плазмы, обеспечивая долговечность и надежность в химически агрессивных условиях.

Точное приборостроение: используется в точном оборудовании, где размерная стабильность и точность имеют первостепенное значение, обеспечивая надежную производительность в высокотехнологичных приложениях.

Оптические и лазерные системы: используются в оптических и лазерных технологиях, где требуется точное расположение и стабильность.

Эти приложения подчеркивают универсальность и важность сапфировых подъемных булав в различных высокотехнологичных и промышленных процессах.