Си-Си керамическая тарелка, для 2 дюймовой, 4 дюймовой и 6 дюймовой обработки пластинок и индивидуального размера

Керамическая плитка с SiC

Керамические пластины SiC (карбид кремния) - это специализированные компоненты, предназначенные для высокопроизводительных приложений, особенно в полупроводниковой промышленности.Эти подносы играют решающую роль в процессе изготовления полупроводниковых устройств, обеспечивающий стабильную и надежную платформу для обработки кремниевых пластин.Керамические лотки SiC могут выдерживать высокие температуры, требуемые на различных стадиях обработки пластинок, такие как эпитаксия, диффузия и окисление.

В дополнение к своим тепловым свойствам, SiC-подносы обладают замечательной механической прочностью, что позволяет им поддерживать тяжелые подложки без деформации или трещин.Их отличная химическая устойчивость обеспечивает долговечность в присутствии коррозионных материалов, часто встречающихся в процессах производства полупроводников.

Кроме того, керамические плиты с SiC способствуют улучшению распределения тепла, что имеет важное значение для поддержания постоянных условий обработки по всей поверхности пластины.Эта особенность помогает минимизировать дефекты и повышает общее качество полупроводниковых устройств.

Эти универсальные подносы также могут быть настроены в различных размерах и формах для удовлетворения конкретных производственных требований, что делает их незаменимым активом в полупроводниковой промышленности,где точность и надежность имеют главное значение.

Свойства керамической плиты с SiC

Высокая тепловая устойчивость:

Керамические плиты SiC могут выдерживать экстремальные температуры, что делает их подходящими для применения при высоких температурах, таких как синтерирование и обработка полупроводников.

Отличная механическая прочность:

Они обладают превосходной прочностью и твердостью, что позволяет им выдерживать тяжелые нагрузки без деформации, обеспечивая долговечность и долговечность.

Устойчивость к химическим веществам:

SiC-подносы очень устойчивы к коррозии и химической атаке, что делает их идеальными для использования в агрессивной среде, особенно в химической обработке и производстве полупроводников.

Теплопроводность:

Эти пластины обладают хорошей теплопроводностью, способствуя эффективному распределению тепла, что важно в процессах, требующих единообразного контроля температуры.

Легкий вес:

Несмотря на свою прочность, керамические подносы SiC относительно легкие, что облегчает обработку и транспортировку во время производственных процессов.

Электрическая изоляция:

Материалы SiC обладают отличными электроизоляционными свойствами, что делает их подходящими для использования в электронных приложениях, где электрическая проводимость должна быть сведена к минимуму.

Низкая тепловая экспансия:

Низкий коэффициент теплового расширения обеспечивает стабильность измерений при различных температурных условиях, снижая риск деформации или трещин.

Настройка:

Керамические плиты SiC могут быть изготовлены в различных размерах и формах, что позволяет настраивать их для удовлетворения конкретных потребностей приложения.

Эти свойства делают керамические плиты SiC важным компонентом в различных отраслях промышленности, особенно в производстве полупроводников, высокотемпературном спекании и химической обработке.

Приложения для керамических тарелок SiC

Производство полупроводников:

Керамические пластины SiC широко используются для поддержки кремниевых пластин во время различных процессов изготовления, включая эпитаксию, диффузию и окисление.Их высокая тепловая устойчивость и механическая прочность обеспечивают оптимальные условия обработки и минимизируют дефекты.

Высокотемпературный синтер:

При производстве передовой керамики и материалов, SiC подносы используются в высокотемпературных процессах спекания,предоставление надежной платформы, которая выдерживает экстремальные условия без деформации.

Химическая обработка:

Из-за их превосходной химической устойчивости, керамические подносы SiC идеально подходят для обработки агрессивных химических веществ в лабораториях и промышленных условиях.дистилляционные колонны, и другое оборудование, требующее прочности против коррозионных веществ.

Электрические и электрические компоненты:

SiC-пакеты служат субстратами при производстве электронных устройств и компонентов,где их изоляционные свойства и теплопроводность имеют решающее значение для поддержания производительности и надежности.

Оптические приложения:

В производстве оптических компонентов SiC-хранилища используются для поддержки и обработки материалов, которые требуют точного контроля температуры и стабильности, обеспечивая высокое качество конечных продуктов.

Аэрокосмическая и автомобильная промышленность:

Керамические пластины SiC используются в аэрокосмической и автомобильной промышленности из-за их легкого веса и высокой прочности.особенно в компонентах, требующих теплового управления и коррозионной стойкости.

Исследования и разработки:

В исследовательской и опытной среде SiC-пакеты часто используются для экспериментальных установки, которые включают высокие температуры или коррозионные химические вещества, обеспечивая надежную платформу для тестирования инновационных материалов.

Выставка керамической плиты с SiC