Сильно автоматическая печь покрытия CVD RDE 530L с 2 камерами реакции

1. прочности оборудования

1,1 автоматический режим. Согласно отростчатым установкам, индивидуальные компоненты и процессы автоматического управления режим. Режим автоматического управления включает переключатель клапана, отростчатое регулирование потока газа, регулирование потока жидкости процесса, печь управлением давления реактора, нагревать и контроль температуры пояса нагрева электрическим током, etc., без человеческой интервенции во всем процессе. Процесс автоматической деятельности осуществляет обработку автоматической тревожной сигнализации. Согласно различным типам сигнала тревоги, он автоматически войдет режим сигнала тревоги для защиты продуктов в печи. После того как сигнал тревоги выпущен, его можно вручную восстановить к государству перед сигналом тревоги.

1.2. Процесс проконтролирован в течении процесса, всех данных по датчика и состояние клапана сохранено к данным за прошедший период, которые можно осмотреть в любое время.

1.3. Ручной режим. Блокировка безопасности, которая автоматически осуществляет замок согласно типу и температуре газа внутри реактора, и реактор нельзя раскрыть по желанию. Ручной режим установил с деятельностью одн-кнопки, как вакуумировать, чистка h₂, чистка n₂, etc., никакая потребность вручную двинуть индивидуальные клапаны и вакуумные насосы.

1.4. Данные по сигнала тревоги автоматически сохранены, и данные за прошедший период можно восстановить в любое время.

2. Рабочая Среда фабрики

2,1 окружающие влажность и температура

2.1.1 окружающая влажность: <90% (на +35°C)

2.1.2 температура окружающей среды: 5℃~40℃

2,2 электропитание

2.2.1 электропитание: 380V±10%, 50Hz, трехфазная система 5-провода

2.2.2 поставка контрольных полномочий: 210V~250V, 50Hz, одиночная фаза

2,3 источник воздуха

2.3.1 обжатое воздушное давление: 6-7bar,

2.3.2 давление Ar: 2-3bar,

2.3.3 давление и подача h₂: 2-3bar, 0-75slm

2.3.4 давление и подача n₂: 2-3bar, 0-50slm

2.3.5 давление и подача CO: 2-3bar, 0-2.5slm

2.3.6 давление и подача СО2: 2-3bar, 0-5slm

2.3.7 давление и подача CH₄: 2-3bar, 0-5slm

2.3.8 давление и подача HCl: 2-3bar, 0-5slm

2.3.9давлениеиподача h₂s: 2-3bar,0-0.4slm

2,4 водный источник

2.4.1 входное давление охлажденной воды: 2-3bar, чистая вода порекомендовано. Температура 13-16°C. (клиентам нужно быть оборудованным с охлаженной водой), подаче охлажденной воды, 5m3/h.

2.4.2 водный источник аварийной ситуации резервный (быть подготовленным потребителем)

Давление: 1.5bar-2bar.