Китай Производство покрытия карбидом кремния в СВД-печах

Это оборудование используется для покрытия карбидом кремния материалов на основе углерода/керамики,особенно осаждение карбида кремния на поверхности полупроводникового эпитаксиального восприимчивого элемента и резьбового кольца.

Печи СВД, используемые для процесса химического отложения паров (CVD).Химическое отложение паров - это процесс, при котором тонкая пленка откладывается на субстрат с помощью химической реакции между испаренными прекурсорами газов и нагретой поверхностью..

Эпитаксиальная основа, высокочистый графитовый диск, с круглой канавкой, чтобы закрепить подложку.После помещения их в печь на поверхности субстрата вырастет слой кристаллической пленки, который является эпитаксиальным слоем.Процессы лифографии и имплантации ионов проводятся на эпитаксиальном слое..

Эпитаксиальная основа из графита, очевидно, не может отвечать сверхвысоким требованиям чистоты в полупроводниковом процессе.По этой причине нам нужно использовать химическое отложение паров на базе, чтобы обернуть слой плотного карбида кремния.

• Стандарты проектирования

Оборудование спроектировано в соответствии с требованиями Бюро по качеству и техническому надзору к сосудам под давлением и квалифицировано после испытаний на давление и отгрузки.Электрическая конструкция и строительство соответствуют национальным стандартам.

• Предварительные испытания и предварительная приемка

Оборудование полностью собрано на нашем заводе, включая все трубопроводы, вакуумные трубопроводы, газопроводы, трубопроводы охлаждающей воды, трубопроводы сжатого воздуха и т.д.Предварительные испытания могут проводиться после установки. На месте работы заказчика трубопроводы, кроме оборудования, предоставляются заказчиком.Главный кабель, соединяющий шкаф питания, предоставляется заказчиком.После установки мы проводим испытания вакуума и положительного давления на все оборудование, а также механические и электрические испытания.

• Разборка и транспортировка

Оборудование будет демонтироваться на несколько больших частей, упаковано стандартным образом и загружено в транспортное средство.

• Установка и ввод в эксплуатацию на объекте клиента

Инженер Redel послепродажного обслуживания возглавит команду для завершения ввода в эксплуатацию, испытания продукта сжигания и другие работы в течение 20 рабочих дней.Заказчик должен подготовиться и предоставить необходимые инструменты, такие как подъемное и подъемное оборудование. и обеспечить поддержку персонала установки (рекомендуется иметь 1 механический персонал и 1 электрический персонал).

• Окончательное принятие

После установки и ввода в эксплуатацию оборудование может быть окончательно принято в соответствии с требованиями технического контракта.

• Обучение

Наши инженеры послепродажного обслуживания обеспечат систематическое и полное обучение на месте, включая эксплуатацию, техническое обслуживание, устранение неполадок и т.д.

• Предоставление технических данных

Для обеспечения безопасной эксплуатации и технического обслуживания оборудования клиентам предоставляются следующие технические данные:

1. Размещение оборудования

2. Руководство пользователя

3Список запасных частей

4Электрические чертежи

5. Руководство по компонентам

Частые вопросы

Вы завод или торговая компания?

Вопрос: Вы завод или торговая компания?

A: Мы являемся ведущим производителем высокотемпературных вакуумных печей в Китае с более чем 10-летним опытом.

У вас есть услуги по настройке или OEM?

В: У вас есть услуги по настройке или OEM?

A:Да, у нас есть мощная команда исследований и разработок и высокотехнологичное оборудование. Поэтому мы можем не только поставлять обычную модель, но и настраиваемую печь в качестве замены наших клиентов.

Какое у тебя преимущество?

Вопрос: Каково ваше преимущество?

А:

Быстрый ответ на ваш запрос

l Высокий контроль качества

L Стабильная цепочка поставок

I Своевременная доставка

Отличное послепродажное обслуживание