Измерители прокачки газа серии измерителя прокачки MF5000 водопода H2

Измерители прокачки серии MF5000 массовые специально конструированы для небольших контроля и управления подачи трубы. Серия может измерить подачу газа в диаметр трубы как небольшой как 3 mm, но не сверх 19 mm. С особенностью само-подачи подготовляя пакета датчика MEMS, метры отличают весьма - потерей низкого давления сравненной к измерителям прокачки традиционного обхода термальным массовым в этом объеме применения. Точность метров вообще ± (1.5+0.2FS) % или лучше в зависимости от запросов. Метры могут работать на окружающей среде -20 к 60 c и MPa до 1,5 давления. Применения включают процесс контроля и управление газа полупроводника, контроль газа кислорода больницы, etc.

Характеристики продукта: Измерители прокачки газа серии измерителя прокачки MF5000 водопода H2

- Используя технологию технологического прочесса обломока MEMS и технологии производства LSI и роста материала, размер датчика уменьшен к уровню микрона, который значительно улучшает чувствительность измерителя прокачки.

- Множественные датчики интегрированы на одиночном обломоке, значительно улучшая коэффициент ряда (ряд) счетчика- расходомера.

- Стабильность нул пунктов датчика значительно улучшена сравненный с традиционным термальным массовым счетчиком- расходомером.

- Совмещенный с умной технологией микрокомпьютера вторичной аппаратуры, счетчик- расходомер имеет хорошую повторимость, и измерение точно и надежно.

- Упрощенная структура принесла около технологическим прогрессом значительно уменьшает потерю давления и энергопотребление счетчика- расходомера сравненного с традиционными механическими аппаратурами.

- Дисплей «мгновенная подача» и «кумулятивное чтение LCD подачи», ясных и интуитивных, легких.

- Продукт интегрирует технологию дизайна электромагнитной совместимости с более высокой противоинтерференционной возможностью.

- Измеритель прокачки оборудован с модулем связи RS485, который может осуществить централизованное управление с верхней компьютерной сетью.

- 4 | выход сигнала стандарта 20mA настоящий опционный.

Измерители прокачки газа серии измерителя прокачки MF5000 водопода H2

Точность +/- (1,5 + 0,2 FS) %

Измеряя ряд: SEC 0.01~65m/

Диаметр трубы измерения 1~19 mm

Работая температура окружающей среды: -20~65

Расход потока дисплея мгновенный; Кумулятивная подача

Режим выхода 4~20mA; RS485; ИМП ульс

Условие 20oC тарировки; kPa 101,325.