30 кГц низкомощные ультразвуковые распылительные рассеивающие насадки для полупроводниковых фоторезистных покрытий
Описание:
Разбрызгивающие насадки используют низкое давление воздуха/газа для создания равномерных и широких распылительных матриц, причем каждая насадка достигает максимума 9.8 дюймов (25 сантиметров) в зависимости от расстояния от субстрата. Скорость воздушного потока регулируется, чтобы позволить низкое или высокое воздействие распылителя на продукт или субстрат. Использование нескольких сосудов в серии может достичь бесконечной ширины.Дизайн рассеивающей сопла используется для широких рисунков с высокой повторяемостью в тонких соплах.
Параметры:
Модель | FSW-3002-L |
Имя | Ультразвуковое рассеивание 30 кГц |
Частота | 30 кГц |
Диапазон размеров атомизированных частиц ((μm) | 15-40 |
Ширина распыления ((мм) | 40-80 |
Поток распыления ((ml/мин) | 0.5-20 |
Высота распыления ((мм) | 30-80 |
Вязкость жидкости (cps) | < 30 |
Размер частиц (μm) | < 15 |
Давление отклонения (Mpa) | <0.05 |
Применение | Подходит для фоторезистентных покрытий на полупроводниковых чипах |
Ультразвуковая технология распыления имеет следующие преимущества по сравнению с традиционной технологией распыления с точки зрения качества покрытия:
1Однородность и консистенция: ультразвуковое распыление может производить крошечные и даже частицы распыления, так что покрытие может быть равномерно распределено на целевой поверхности.таким образом достигая однородности и консистенции покрытияНапротив, традиционные методы распыления могут привести к неравномерной толщине покрытия или следам распыления.
2- компактность и сцепление: из-за небольшого и равномерного размера частиц, образуемых при ультразвуковом распылении, они могут лучше покрывать поверхность объекта и образовывать более плотный слой.Это улучшает сцепление и долговечность покрытия, что уменьшает риск отслоения или очистки покрытия.
3Контроль толщины покрытия: технология ультразвукового распыления может достичь точного контроля толщины покрытия путем регулирования размера частиц распыления и параметров распыления.Эта точность делает технологию ультразвукового распыления подходящей для сценариев применения, требующих определенной толщины покрытия, например, тонкопленочные покрытия или области с высокими требованиями толщины покрытия.
4Уменьшить испарение растворителя: Ультразвуковое распыление обычно проводится при более низком давлении, что помогает уменьшить испарение растворителя в покрытиях.Традиционные методы распыления могут потребовать более высокого давления распыления, что приводит к более быстрому испарению растворителя и потенциально влияет на качество и производительность покрытий.
5Подходит для специальных покрытий: Ультразвуковая технология распыливания подходит для различных типов покрытий, включая жидкости с высокой вязкостью, жидкости с высоким содержанием твердых веществ, суспензии наночастиц и т. д.Это делает технологию ультразвукового распыления выгодной для применения специальных покрытий, что позволяет получать более качественные покрытия.
Следует отметить, что качество покрытия зависит не только от технологии распыления, но и от различных факторов, таких как качество покрытия, предварительная обработка поверхности,оптимизация параметров распыленияПоэтому при выборе технологии распыления необходимо всесторонне учитывать множество факторов и оценивать и выбирать в соответствии с конкретными требованиями к применению.
30 кГц низкомощные ультразвуковые распылительные рассеивающие насадки для полупроводниковых фоторезистных покрытий