| Атрибут | Ценить |
|---|---|
| Материал камеры | Нержавеющая сталь 304 |
| Система управления | Полный авто, полуауто, ручное руководство |
| Гарантия | 1 год |
| Послепродажи | Инженер доступен для обслуживания за рубежом |
| Структура | Вертикальный фронт открытый или вертикальная нагрузка |
| Цвет покрытия | Золото, розовое золото, синий, серый, черный, радуга |
| Напряжение | 380 В, 50 Гц или на заказ |
| Размер камеры | Сделанный на заказ |
| Насосная группа | Механический насос+корни насос+диффузия/турбо насос |
| Технология покрытия | Мульти -дуговая или мульти -дуговая магнитровая распыление |
Катодное осаждение дуги (ARC-PVD)-это метод физического осаждения пары, который использует электрическую дугу для испарения материала из катодной цели. Испариваемый материал затем конденсируется на подложке, чтобы сформировать тонкую пленку. Этот процесс может вносить металлические, керамические и композитные пленки с отличными свойствами.
Золото, серебро, розовое золото, синий, серый, черный, радуга
| Модель | JXS-1010 | JXS-1215 | JXS-1820 | JXS-2336 | JXS-2345 |
|---|---|---|---|---|---|
| Камера (мм) | D1000 × H1000 | D1200 × H1500 | D1800 × H2000 | D2300 × H3600 | D2300 × H4500 |
| Структура | Вертикальная дверная структура, насосная система и система водяного охлаждения | ||||
| Вакуумная система | Диффузионный насос или молекулярный насос + удерживающий насос + грубый насос + корни насос | ||||
| Окончательное давление | 1,0-6,0 × 10-4Па, не загружая охлаждение | ||||
| Температура | Нормальная температура от 300 ° C до 450 ° C-600 ° C, контролируемые и регулируемые (контроль Temp. PID) | ||||
| Газ | Ar, n2О.2, C2ЧАС2, и т. д. | ||||
| Охлаждение | Циркуляция водяного охлаждения, промышленная охлаждающая башня или промышленная водяная чиллер (клиенты предоставляют) | ||||
| Контроль | Ручное, полуавто | ||||
| Давление воздуха | 0,5-0,8 МПа | ||||
| Вода температура | ≤25 ° C. | ||||
| Давление воды | ≥0,2 МПа | ||||
| Общая мощность | 25-65 кВт | 65-105 кВт | 85-115 кВт | 95-145 кВт | 130-180 кВт |
| Выходная частота | 380 В, 50 Гц (на заказ) | ||||
| Занятая область | 35 ~ 50 м² | 55 ~ 95M² | 75 ~ 105 м² | 125 ~ 175 м² | 135 ~ 205M² |
| Примечание | Настройка доступна | ||||