Цилиндрическая конструкция VCM (мотор голосовой катушки) использует трубчатую структуру, в которой размещены его основные компоненты.оба выровнены вдоль центральной оси двигателяКотушка обычно завертывается вокруг полого цилиндра, в то время как постоянный магнит окружает катушку.точность и скорость отклика VCM цилиндрического голосового катушки двигателя имеет решающее значение для достижения строгих требований процесса производства полупроводниковЭто позволяет точно манипулировать пластинкой, обеспечивая последовательное и высокое качество производства полупроводниковых устройств.
Манипуляции в полупроводниковых приложениях:
Обработка пластин: во время производства полупроводников пластинки должны быть точно расположены для различных процессов.цилиндрический двигатель VCM интегрирован в систему обработки пластинок для обеспечения точной выравнивания.
Выравнивание: когда пластинка должна быть расположена для определенного процесса, система управления посылает сигнал в VCM. Ток течет через катушку, создавая магнитное поле.Взаимодействие между этим магнитным полем и постоянными магнитами создает силу, которая перемещает катушку и прикрепленную нагрузку (вафер) в нужное положение.
Контроль обратной связи: для обеспечения точности движение VCM контролируется системой обратной связи.Если обнаружено отклонение от целевого положения, система управления регулирует ток, протекающий через катушку для коррекции положения.
Высокая точность: цилиндрический двигатель VCM использует механизм прямого привода, что приводит к высокой точности.в результате точного позиционирования.
 

Технические параметры:

Модуль одноосиного двигателя голосовой катушки для сервоприводов короткого хода с закрытым циклом с легким весом привода и быстрой реакцией (до 20 Гт в миллисекундах).База принимает авиационную алюминиевую прецизионную обработку, хорошая стабильность, может выполнять высокоскоростное колебание и перемещение движения. простое и надежное управление, без необходимости обратного устройства, длительный срок службы без обслуживания.возможно регулирование ускорения и тягиОснащенный подходящим кодировщиком и проводником, точность позиции может достигать 0,1-5um.требования к тяге выполнены с помощью соответствующих драйверов и контроллеров. Структура платформы может быть обработана и настроена. В соответствии с различными приложениями, подходящий линейный механизм направления конфигурируется: различные типы высокоточных линейных направляющих рельсов.

 Технические показатели и спецификации могут быть настроены