Высоко-чистый ион Moly имплантируя части в применении полупроводника

Ион Moly имплантируя части технология луча иона которая ионизирует атомы элемента в ионы, ускоряет ход их на напряжении тока десяток к сотням kV, и впрыскивает их в поверхность материала workpiece помещенную в камере цели вакуума после получать быстрый ход.

После вживления иона, свойства медицинского осмотра, химических и механических поверхности материала изменят значительно. Непрерывное сопротивление носки поверхности металла может достигнуть 2 | 3 порядка величины начальной глубины вживления.

СПЕЦИФИКАЦИЯ & ХИМИЧЕСКИЕ СОСТАВЫ (NOMINALS)

Преимущества иона Moly имплантируя технологию частей:

(1) чистая свободная от загрязнени технология поверхностного покрытия;

(2) для этого не нужна термальная активация и высокотемпературная окружающая среда, поэтому оно не изменит общий размер и поверхностный финиш workpiece;

(3) слой вживления иона новый поверхностный слой сформированный серией медицинского осмотра и химических взаимодействий между лучем иона и поверхностью субстрата, и никакая слезая проблема между ей и субстратом;

(4) там никакая потребность для подвергать механической обработке и термической обработки после вживления иона.

Ион Moly имплантируя изображение частей:

ПРИМЕНЕНИЯ иона Moly имплантируя части

В полупроводниковых технологиях, вживление иона имеет высокоточные единообразие и повторимость дозы. Оно может получить идеальные давая допинг концентрацию и интеграцию, значительно для того чтобы улучшить интеграцию, скорость, выход и срок службы цепи, и уменьшает цену и расход энергии. Это отличает низложение химического пара.

Для того чтобы получить идеальные параметры, как толщина фильма и плотность, низложению химического пара нужно отрегулировать оборудование устанавливая параметры, как тариф температуры и воздушных потоков, который сложный процесс.

В дополнение к индустрии продукции полупроводника, с быстрым развитием промышленной автоматизации контроля, технология вживления иона также широко использована в улучшении металлов, керамики, стекла, смесей, полимеров, минералов и семян завода.