8-дюймовая 25-дюймовая видеокассета с металлическими пластинами, используемая в полупроводниковой промышленности

Сделанные из алюминиевых сплавов, металлические вафлеры предлагают непревзойденную долговечность для использования в чистой комнате.

Особенности:

1Алюминий с износостойким, гладким, твердым покрытием.

2. Термостойкость до 350°C (Al).

3Гладкий вход.

4Проектирование в соответствии со стандартом полупроводниковой промышленности.

Применение:

1В условиях теплового процесса пластиковые пластины обрабатываются в кассетах при температуре, превышающей 43°C, что является верхним пределом типичного структурного порога для пластиковых кассет.

Это включает химическое отложение паров (CVD), быструю термическую обработку (RTP) и отжигание пластинок.
Выпечка - долгосрочные термические приложения для выпечки, при которых пластины необходимо оставлять в духовке в течение нескольких дней.

2Процессуальное оборудование, при котором температура введения пластины (вывода пластины из процессуального инструмента) превышает температуру плавления пластикового корпуса.

Необходимость в более высокой пропускной способности сокращает время охлаждения и акклиматизации пластинок в камере.

3. Внутренняя среда Кассеты - кластерные среды автоматизации инструментов, в которых кассеты не работают в нагретой вакуумной среде (камере) для нескольких этапов процесса.

4Требования к точности носителя - Автоматизированные среды при умеренной температуре требуют точности измерений, которую не могут обеспечить пластиковые кассеты.

Обработка тонких пластин - во время обработки тонких пластин в пластиковый корпус вырезаются острые тонкие пластинки.Толстые пластинки - приложения для склеивания или толстых пластин, где из-за размера слота не могут использоваться стандартные в отрасли пластиковые кассеты.

Настройка доступна по запросу.

Существуют специальные конфигурации (могут применяться минимальные количества заказов): EN безэлектрическая никелевая покрытие на алюминиевых профилях для применения в условиях высокого вакуума;Плоский профиль для тонких или толстых пластин; удерживающие рукоятки на конце стены; и двойные конфигурации h-bar для задней обработки пластинок.

Технические параметры:

1Процесс Алюминиевая коробка: (Al, HC) 8 ′′ - 25 слот, Слант слот (стандарт).
2Размеры: выберите размер крышки (верху), крышки (внизу), H-BAR (внизу), H-BAR (вверху).
3Алюминий, устойчивый к абразии, гладкий, твердый покрытие.
4- Гладкие канавки и формы вакуумные вентиляционные винты.
5- Проектировано по стандартам SEMI.

Упаковка и перевозка:

1Ограничения по весу
Общий вес одной упаковки не должен превышать 25 кг.
Удобный для погрузки и разгрузки, он соответствует грузоподъемности различных транспортных средств.

2Спецификации размеров
Размер картонного ящика должен быть меньше 1,5 кубических метров.
Пластиковый картон, стальные бочки и другие размеры в соответствии с фактическими размерами товаров, которые должны быть определены.
Убедитесь, что упаковка может быть без проблем загружена в контейнер, грузовую кабину самолета и т.д.

3Управление документацией
Приготовьте коносамент, счёт, список упаковки и другие необходимые документы.
Документальная информация является полной и точной, соответствующей фактическим товарам.