Спецификации
Номер модели :
GS600SW
Место происхождения :
Китай
Минимальное количество заказов :
1
Условия оплаты :
L/C, T/T, D/A, D/P, MoneyGram, Western Union
Время доставки :
5-60 дней
Подробная информация об упаковке :
Деревянные
Состояние :
Новый
Напряжение :
110 В/220 В
Автоматический класс :
Автоматический
Гарантия :
Один год
Описание

SS101Вафли-Уровень Распределение Машина

 

Для поднаполнения формы вафель

SS101 - это высокостабильная и точная система подачи на уровне пластины, которая разработана на основе требований процесса заполнения RDL First WLP.

Оборудование отвечает потребностям полупроводниковой промышленности, может быть оснащено автоматической системой загрузки и разгрузки пластин и может автоматически выполнять такие функции, как обработка пластин,выровнение Он совместим с международными протоколами полупроводниковой связи.и оснащен автоматическим интерфейсом AMHS для загрузки и разгрузки роботов, чтобы соответствовать

требования к управлению информацией и тенденции управления беспилотником.
 
SS101 Система расположения

 

¢ Loadport & Foup

️ Выровнитель

Станция сканирования QR-кодов

Станция предварительного нагрева

Станция рассеивания тепла

Рабочая станция для диспенсирующей машины GS600SWB

Модуль управления роботом
 

 

Состав системы подачи пищи на уровне пластины SS101

  • GS600SW диспенсерная машина на уровне вафель × 2
  • PC101 машина для погрузки и разгрузки пластинок × 1

Области применения

  • RDL Первый WLP
  • Применение CUF

SS101 Операционный поток распределения на уровне пластины

GS600SW Диспенсирующая машина на уровне вафли RDL Первое применение WLP CUF

Особенности и преимущества

  • Поддерживает подачу 8/12 дюймовых пластин.
  • Пылестой уровень 10, соответствующий экологическим требованиям упаковки на уровне пластины.
  • Защита от ESD, соответствующая международным стандартам IEC и ANSI.
  • Во время всего процесса обращения и работы пластины температура тщательно контролируется и автоматически корректируется для удовлетворения требований процесса CUF при одновременном обеспечении безопасности продукции.
  • Видеомониторинг всего процесса облегчает оборот продукции, наблюдение за процессом работы, отслеживание и анализ проблем

 

Технические спецификации
 

Система SS101 GS600SWA * 1,GS600SWB * 1, PC101 Wafer Handling Machine * 1 (EFEM)
Области применения RDL Первый WLP, CUFПрименение
Уровень чистоты Чистота рабочей зоны

Класс 100 (мастерская класса 1000)

Класс 10 (мастерская класса 100)

 
 

Области применения продукции

Поддержка размера пластины

φ200mm±0.5mm, φ300mm±0.5mm

(Стандартная модель поддерживает только 12-дюймовые пластины)

Поддержка толщины пластины 300-2550 мкм
Максимально допустимый диапазон вафры < 5 мм (согласно типу роботового пальца)
Максимально допустимая масса пластины 600 г (в зависимости от типа роботового пальца)
Кассеты из вафелей 8-дюймовый открытый кассетный диск, 12-дюймовый Foup (стандартная модель поддерживает только 12-дюймовые пластины)

 
 

PC101 (EFEM)

Способ погрузки и разгрузки Загрузочный порт+роботы
Точность предварительного выравнивания Округленное отклонение коррекции центра≤±0,1 мм; отклонение коррекции угла≤±0,2 °
Читатель пластин Поддерживает шрифты SEMI (плоские или выпуклые/выпуклые поверхности), не-SEMI шрифты
Диапазон температуры предварительного нагрева Температура в помещении ~ 180°C
Способ охлаждения пластины Естественное охлаждение или охлаждение воздухом

 
 

Система управления движением

Механизмы передачи X/Y: Линейный двигатель Z: Сервомотор и винтовой модуль
Повторяемость X/Y: ±3μmZ: ±5μm
Точность позиционирования X/Y: ±10μm
Максимальная скорость движения X/Y: 1000 мм/с Z: 500 мм/с
Максимальная ускоренная скорость X/Y: 1g Z: 0,5g

 

Система зрения

Пиксели камеры 130 Вт
Точность распознавания ± 1 пиксель
Диапазон распознавания 12 × 16 мм<Расстояние распознавания < 19,2 × 25,6 мм
Источник света Комбинированный трехцветный источник света красный, зеленый, белый + красный
Система калибровки веса Точность взвешивания 00,01 мг

 
 

Нагрузка на стол

Отклонение плоскости вакуумной поверхности ≤ 3 0 мм
Диапазон температуры нагрева Температура в помещении ~ 180°C
Отклонение температуры нагрева ≤ ± 1,5 °C
Повторяемость высоты подъема ± 10 м
Вакуумное всасывающее давление -70~-85Kpa Установляемая

 
 
 
 

 

Устройства

Отпечаток (W*D*H) 3075×2200×2200мм ((Экран развернут)
Вес 2.9t
Электрическое питание 200 ~ 240VAC,47 ~ 63HZ (единофазное адаптационное питание к напряжению)
Электрический ток 75А
Сила 16.5 кВт
Ингаляция (0,5 МПа, 450 л/мин) ×5 пути
Рабочая температура окружающей среды 23°C±3°C
Относительная влажность рабочей среды 30 ~ 70%

 

GS600SW Диспенсирующая машина на уровне вафли RDL Первое применение WLP CUF

 
Отправьте сообщение этому поставщику
Отправляй сейчас

GS600SW Диспенсирующая машина на уровне вафли RDL Первое применение WLP CUF

Спросите последнюю цену
Номер модели :
GS600SW
Место происхождения :
Китай
Минимальное количество заказов :
1
Условия оплаты :
L/C, T/T, D/A, D/P, MoneyGram, Western Union
Время доставки :
5-60 дней
Подробная информация об упаковке :
Деревянные
Контактный поставщик
GS600SW Диспенсирующая машина на уровне вафли RDL Первое применение WLP CUF
GS600SW Диспенсирующая машина на уровне вафли RDL Первое применение WLP CUF
GS600SW Диспенсирующая машина на уровне вафли RDL Первое применение WLP CUF
GS600SW Диспенсирующая машина на уровне вафли RDL Первое применение WLP CUF
GS600SW Диспенсирующая машина на уровне вафли RDL Первое применение WLP CUF

Changzhou Mingseal Robot Technology Co., Ltd.

Active Member
2 Годы
jiangsu, changzhou
С тех пор 2009
Основные продукты :
, ,
Общее годовое :
9000-12000
Количество работников :
200~500
Уровень сертификации :
Active Member
Узнайте о аналогичных продуктах
Смотрите больше
Контактный поставщик
Требование о предоставлении