N-type SiC на Si Compound Wafer 6inch 150mm SiC типа 4H-N Si типа N или P
N-тип SiC на Si Соединение Wafer abstract
Кремниевый карбид N-типа (SiC) на кремниевых (Si) соединенных пластинах привлек значительное внимание из-за их перспективных применений в высокомощных и высокочастотных электронных устройствах.В данном исследовании представлено изготовление и характеристика SiC N-типа на пластинах из СиИспользуя химическое отложение паров (CVD), мы успешно вырастили высококачественный N-тип SiC слой на Si субстрате,обеспечение минимального несоответствия решетки и дефектовСтруктурная целостность сложенной пластины была подтверждена с помощью рентгеновского дифракции (XRD) и электронной микроскопии передачи (TEM).выявляющий однородный слой SiC с отличной кристалличностьюЭлектрические измерения показали превосходную мобильность носителя и снижение сопротивления, что делает эти пластины идеальными для электротехники следующего поколения.теплопроводность была повышена по сравнению с традиционными пластинами Si, способствуя лучшему рассеиванию тепла в высокопроизводительных приложениях.Результаты показывают, что N-тип SiC на Si-соединенных пластинках имеет большой потенциал для интеграции высокопроизводительных устройств на базе SiC с хорошо зарекомендовавшейся кремниевой технологической платформой.

Спецификации и схематическая схемаSiC N-типа на Si-соединенном пластинке

Положение |
Спецификация |
Положение |
Спецификация |
Диаметр |
150 ± 0,2 мм |
Ориентация |
<111>/<100>/<110> |
Тип SiC |
4 часа |
Тип Si |
П/Н |
Сопротивляемость SiC |
00,015 ≈ 0,025 Ω·cm |
Плоская длина |
47.5 ± 1,5 мм |
Толщина переносного SiC-слоя |
≥ 0,1 мкм |
Крайний щелчок, царапины, трещины (визуальный осмотр) |
Никаких |
Недействительно |
≤5 ea/волатка (2 мм < D < 0,5 мм) |
TTV |
≤ 5 мкм |
Рябина передней части |
Ra ≤ 0,2 нм (5 мкм × 5 мкм) |
Толщина |
500/625/675 ± 25 мкм |
N-тип SiC на фотографиях Si Compound Wafer




SiC N-типа для применения в композиционных пластинах Si
N-тип SiC на стеклянных пластинах соединения Si имеет множество применений из-за их уникальной комбинации свойств как карбида кремния (SiC), так и кремния (Si).Эти приложения в первую очередь сосредоточены на высокомощных, высокотемпературных и высокочастотных электронных устройств.
-
Электротехника:
- Силовые устройства: SiC на Si используется при изготовлении силовых устройств, таких как диоды, транзисторы (например, MOSFET, IGBT) и выпрямители.Эти устройства выигрывают от высокого разрывного напряжения и низкого сопротивления на SiC, в то время как Si-субстрат позволяет легче интегрироваться с существующими технологиями на основе кремния.
- Преобразователи и инверторы: Эти пластины используются в преобразователях и инверторах для систем возобновляемой энергии (например, солнечных инверторов, ветровых турбин), где эффективное преобразование энергии и управление теплом имеют решающее значение.
-
Автомобильная электроника:
- Электрические транспортные средства (EV): В электромобилях и гибридных транспортных средствах, N-тип SiC на Si пластины используются в компонентах силовой установки, включая инверторы, преобразователи и бортовые зарядные устройства.Высокая эффективность и тепловая устойчивость SiC позволяют более компактную и эффективную силовую электронику, что приводит к улучшению производительности и увеличению срока службы батареи.
- Системы управления батареями (BMS): Эти пластинки также используются в BMS для управления высокими уровнями мощности и тепловым напряжением, связанным с зарядкой и разрядкой батарей в электромобилях.
-
РЧ и микроволновые устройства:
- Использование высокочастотных устройств: SiC на Si-вофлеры N-типа подходят для радиочастотных (RF) и микроволновых устройств, включая усилители и осцилляторы, используемые в телекоммуникационных и радиолокационных системах.Высокая электронная мобильность SiC позволяет быстрее обрабатывать сигналы на высоких частотах.
- Технология 5G: Эти пластинки могут использоваться в базовых станциях 5G и других компонентах коммуникационной инфраструктуры, где необходима обработка высокой мощности и частота работы.
-
Аэрокосмическая промышленность и оборона:
- Жестокая окружающая среда Электроника: Пластинки используются в аэрокосмических и оборонных приложениях, где электроника должна надежно работать при экстремальных температурах, излучении и механическом напряжении.Высокотемпературная стойкость и долговечность SiC® делают его идеальным для таких условий..
- Модули питания для спутников: В спутниковых силовых модулях эти пластины способствуют эффективному управлению энергией и долгосрочной надежности в условиях космоса.
-
Промышленная электроника:
- Двигатели: SiC-на-Si пластины N-типа используются в промышленных двигателях, где они повышают эффективность и уменьшают размер силовых модулей,что приводит к снижению потребления энергии и улучшению производительности в высокопроизводительных промышленных приложениях.
- Умные сети: Эти пластинки являются неотъемлемой частью развития интеллектуальных сетей, где высокоэффективное преобразование и распределение электроэнергии имеют решающее значение для управления электрическими нагрузками и интеграции возобновляемых источников энергии.
-
Медицинские изделия:
- Имплантируемая электроника: биосовместимость и прочность SiC в сочетании с преимуществами обработки Si,сделать эти пластины подходящими для имплантируемых медицинских изделий, требующих высокой надежности и низкого потребления энергии.
Подводя итог, N-тип SiC на стеклянных пластинах соединения Si является универсальным и необходимым в приложениях, требующих высокой эффективности, надежности и производительности в сложных условиях,что делает их ключевым материалом в продвижении современных электронных технологий.