Высокая емкость PID регулируемая полупроводниковая печь SEO серии герметичность

Полупроводниковая печь с заполненным азотом обладает высокой универсальностью, высокой стабильностью и высокой производительностью.Принимает специальную структуру камеры и технологию уплотненияЭта печь подходит для отверждения полупроводниковых пластин.IC-пакеты (медная подложка), серебряный гель, кремниевый гель, эпоксидная смола), стеклянный субстрат и другие продукты.
 
Основная технология:
01 Система высокопроизводительной горизонтальной рециркуляции воздуха для достижения высокой температурной однородности
02 Камера полностью герметична, использует нержавеющую сталь, с хорошей герметичностью, экономия азота
03 Мотор с высокой мощностью, устойчивый к высокой температуре, с длинной осью и большим размером лопатки турбины, которая может долгое время стабильно работать в условиях высокой температуры
04 Скорость нагрева регулируемая, работа с одним ключом для настройки профиля процесса, с системой охлаждения для охлаждения, которая может эффективно повысить эффективность производства
05 Высокоточный регулятор температуры, регулировка PID, точность управления может достигать 0,5°C, надежное управление, безопасное использование
06 Эффективная очистка, тысячеградусное испытание старения в чистой комнате для удовлетворения требований полупроводниковых мастерских и продуктов без пыли
07 Контроль низкого содержания кислорода, мониторинг в режиме реального времени, система анализа двойного канала содержание кислорода может контролироваться в пределах 50ppm
 
Характеристики продукта:
СТРУКТУРА КАМБРЫ ОВНОВ ПОЛОВЕЦ
Верхние и нижние ящики оснащены системой циркуляции горячего воздуха, скорость и объем воздуха могут регулироваться, и различные параметры процесса могут работать независимо.Камера печи изготовлена из высококачественной нержавеющей сталиПечь оснащена слоистыми скобками для улучшения использования пространства.

Полупроводниковая система азотной печи
Заполнение азота внутри камеры, оснащенное многочисленным потокометром с независимой функцией регулировки для обеспечения разумного использования азота, сбалансированного распределения.С многоканальным анализатором кислорода, наблюдение за содержанием кислорода в верхней и нижней камерах в режиме реального времени может контролироваться отдельно, содержание кислорода в одной камере может контролироваться в пределах 500PPM (вариант:в пределах 100ppm).
 

Система охлаждения полупроводниковой печи
Система охлаждения водой принята. радиатор с крыльями с водяным охлаждением, когда температура в печи охлаждается, вентилятор быстро обменивается теплом через радиатор с крыльями,Это значительно сокращает время охлаждения.. Уникальная система охлаждения, избегать мгновенного охлаждения паром расширения при высокой температуре, которые эффективно защищают качество продукта.

СИСТЕМА ОБЩЕСТВЕННОЙ ОБЩЕСТВЕННОСТИ ПОЛУЧИТЕЛЬНОЙ ОВНЫ
При защите от перенапряжения (для предотвращения слишком высокой температуры студии и защиты продукта), когда возникает ситуация с перенапряжением, он немедленно отключает питание,в то же время, есть сигнализация для напоминания персоналу, лучшая защита продуктов; контроль и защита от чрезмерного содержания кислорода; защита от азотного низкого давления;верхние и нижние ящики оборудованы электронными замками безопасности;, и оборудование имеет выключатель аварийной остановки.

Испытание прозрачности полупроводниковой печи
После испытаний концентрация частиц 0,5 мкм составляет ≤35200, что соответствует производственным требованиям высокочистой, чистой, безпыльной мастерской тысячного класса.

Испытание температурного профиля полупроводниковой печи
Высокоточный регулятор температуры, регулирование PID, высокопроизводительная горизонтальная система рециркуляции воздуха горячего воздуха, которая может достичь высокой температурной однородности.

 
Параметры продукта:

 
Уведомления:
1Требования к источнику газа: рабочее давление азота (давление во время использования) > 0,5-0,8 МПа, чистота азота 99,999%.
2Потребности в энергии:
1Трифазный пятипровод: напряжение 380 В, частота 50/60 Гц;
Диаметр провода более 25 мм2, переключатель защиты от утечки 100 А, переключатель защиты от утечки, пропускная способность 150-200 мА.
3Требование к давлению на грунте: 1000 кг/м2.
4. Требования к внешней вентиляции: воздуховод внешнего диаметра 2-Ø38 мм, объем вентиляции 2*5M3/мин;
5Требования к окружающей среде: диапазон температуры окружающей среды должен составлять от 5 до 40 °C, а диапазон относительной влажности - от 20 до 95%.