Серия печей для полупроводников SEO оснащена системой регулировки PID большой емкости с отличной герметичностью для сред, заполненных азотом. Эта печь, предназначенная для обжига полупроводниковых пластин, корпусов микросхем и стеклянных подложек, обеспечивает превосходную равномерность и стабильность температуры.

• Горизонтальная рециркуляция воздуха: Система большой емкости обеспечивает превосходную равномерность температуры
• Полностью герметичная камера: Конструкция из нержавеющей стали с отличной герметичностью для эффективного использования азота
• Высокотемпературный двигатель: Двигатель с длинной осью и большими лопастями турбины для стабильной работы при высоких температурах
• Точное управление: Регулировка PID с точностью 0,5℃ и программируемыми профилями процессов
• Совместимость с чистыми помещениями: Соответствует стандартам чистых помещений тысячного класса для производства полупроводников
• Контроль кислорода: Двухканальный анализ поддерживает содержание кислорода ниже 50PPM

Имеет верхнюю и нижнюю системы циркуляции горячего воздуха с регулируемым потоком воздуха. Изготовлена из высококачественной нержавеющей стали и многослойных кронштейнов для оптимального использования пространства.

Оснащена несколькими расходомерами и анализаторами кислорода для мониторинга в реальном времени. Поддерживает содержание кислорода ниже 500PPM (опция для 100PPM).

Водяное охлаждение с технологией радиаторного охлаждения с ребрами уменьшает время охлаждения, предотвращая повреждение продукта из-за резких перепадов температуры.

Включает защиту от перегрева, контроль содержания кислорода, сигнализацию давления азота, электронные предохранители и кнопку аварийной остановки.

Концентрация частиц ≤35 200 (0,5 мкм) соответствует стандартам чистых помещений тысячного класса.

Высокоточное регулирование температуры с помощью PID обеспечивает равномерное распределение тепла.