Конвейерная система

Специальная тонкочерепичная лента передачи для полупроводников, для крошечных компонентов, для предотвращения падения и заторможения

Многочастотный контроль системы горячего воздуха

Управление многочастотным преобразователем, более точный контроль температуры, диапазон воздушного потока может контролироваться от низкого до высокого, чтобы обеспечить стабильность и надежность системы управления

Система восстановления розины

Существуют независимые устройства для восстановления смолы на входе и выходе, а также для предварительного нагрева, многоступенчатая фильтрация.

ПОЛНАЯ СИСТЕМА ПРОТЕКЦИИ АЗОГЕНА.

Низкое содержание кислорода

Азот заряжается на протяжении всего процесса и контролируется независимо в каждом процессе; среда с очень низкой концентрацией кислорода,и содержание кислорода в печи может быть в пределах 50PPM, чтобы обеспечить отличное качество сварки

Низкое потребление азота

Совершенно новый дизайн конструкции печи, многослойная теплоизоляция, замкнутый цикл управления системой восстановления, эффективно экономить количество азота и экономить расходы на использование

Эффективная система отопления циркуляции горячего воздуха

Многослойная конструкция теплоизоляции, высокая тепловая стабильность

эффективность, низкое потребление энергии, снижение затрат на производство

Система охлаждения

Зона охлаждения с высокопроизводительной системой холодной воды для обеспечения оптимального наклона охлаждения

Система контроля

Способность регулировать высокую температуру, чтобы соответствовать профилю процесса нагрева упаковки полупроводников

ОГРОМНАЯ чистота

Специальная чистая комната для НИОКР, тысячи уровень чистоты, чтобы соответствовать требованиям высокой чистоты среды полупроводникового оборудования

Конвейерная система

Программное обеспечение поддерживает SECS/GEM протокол полупроводниковой связи, соединяет интеллектуальную фабричную информационную и систему управления,который может эффективно реализовать функции управления подключением, сбор данных, сигнализация, состояние контроля, служба терминала оборудования и журнал сообщений и т.д.

8 отопительных зон,

16 тепловых модулей

10 отопительных зон,

20 тепловых модулей

13 отопительных зон,

26 тепловых модулей