Магнетронное напыление в индустрии дисплеев

Приложения

Принцип работы

Как распространенный метод физического осаждения из паровой фазы (PVD), магнетронное распыление имеет много преимуществ, таких как низкое

температура осаждения, высокая скорость осаждения и хорошая однородность осажденных пленок.Традиционное напыление

Технология работает следующим образом: в среде высокого вакуума падающие ионы (Ar+) бомбардируют мишень под

действие электрического поля, чтобы заставить нейтральные атомы или молекулы на поверхности мишени получить достаточную кинетическую энергию, чтобы покинуть

поверхности мишени и осаждаются на поверхности подложки с образованием пленок.Однако электроны будут дрейфовать под действием

электрические и магнитные поля, что приводит к низкой эффективности распыления.Короткие пути бомбардировки электронами также приводят к

повышение температуры подложки.Для повышения эффективности распыления под напылением установлен сильный магнит.

мишень с полюсами N и S в центре и по окружности соответственно.Электроны ограничены вокруг мишени под

действие силы Лоренца, постоянно двигаться по кругу, генерируя больше Ar+ для бомбардировки цели, и, наконец, сильно

повысить эффективность распыления.

Функции

Образец покрытия

Шаги процесса

→ Поместите подложку для покрытия в вакуумную камеру;

→ Грубо пропылесосить;

→ Включите молекулярный насос, пропылесосьте на максимальной скорости, затем включите обороты и вращение;

→ Нагрев вакуумной камеры до достижения заданной температуры;

→ Внедрить постоянный контроль температуры;

→ Очистите элементы;

→ Вращение и обратно в исходное положение;

→ Покрытие пленкой в ​​соответствии с технологическими требованиями;

→ Понизьте температуру и остановите узел насоса после нанесения покрытия;

→ Остановите работу, когда автоматическая операция будет завершена.

Наши преимущества

Мы производитель.

Зрелый процесс.

Ответ в течение 24 рабочих часов.

Наша сертификация ISO

Части наших патентов

Части наших наград и квалификаций НИОКР