MachineU > Китайские продукты > Химикаты > Неорганические химикаты > Графитовые изделия > Графитовые электроды
IC LSI Electrode Semiconductor Detector Systems Магнетронное распыление Осаждение
IC LSI Electrode Semiconductor Detector Systems Магнетронное распыление Осаждение
Спецификации
Номер модели :
MSC-SEM-X—X
Место происхождения :
Чэнду, КНР
минимальное количество для заказа :
1 комплект
Условия оплаты :
Т/Т
Возможность поставки :
От случая к случаю
Срок поставки :
От случая к случаю
Детали упаковки :
Деревянная коробка
Масса :
Настраиваемый
Размер :
Настраиваемый
Настраиваемый :
Доступный
Гарантийный срок :
1 год или в каждом конкретном случае
Условия доставки :
Морским/воздушным/мультимодальным транспортом
Описание

Магнетронное напыление в полупроводниковой промышленности

Приложения

Приложения Особая цель Тип материала
Полупроводник Электрод IC, LSI, монтажная пленка AI, Al-Si, Al-Si-Cu, Cu, Au, Pt, Pd, Ag
Электрод с памятью СБИС Пн, Вт, Ти
Диффузионная барьерная пленка MoSix, Wsix, TaSix,, TiSx, Вт, Мо, W-Ti
Клейкая пленка PZT (Pb-ZrO2-Ti) , Ti, Вт

Принцип работы

Принцип магнетронного распыления: под действием электрического поля электроны сталкиваются в процессе с атомами аргона.

лететь к подложке на большой скорости, ионизируя большое количество ионов аргона и электронов, а затем электроны летят к

подложка.Ионы аргона бомбардируют мишень с большой скоростью под действием электрического поля, распыляя массу мишени

атомы, затем нейтральные атомы (или молекулы) мишени оседают на подложке, образуя пленки.

Функции

Модель MSC-SEM-X—X
Тип покрытия Различные диэлектрические пленки, такие как металлическая пленка, оксид металла и AIN
Диапазон температур покрытия Нормальная температура до 500 ℃
Размер вакуумной камеры покрытия 700 мм * 750 мм * 700 мм (настраиваемый)
Фоновый вакуум < 5×10-7мбар
Толщина покрытия ≥ 10 нм
Точность контроля толщины ≤ ±3%
Максимальный размер покрытия ≥ 100 мм (настраиваемый)
Равномерность толщины пленки ≤ ±0,5%
Носитель субстрата С планетарным механизмом вращения
Целевой материал 4×4 дюйма (совместимо с 4 дюймами и ниже)
Источник питания Источники питания, такие как постоянный ток, импульс, ВЧ, ПЧ и смещение, являются дополнительными.
Технологический газ Ар, Н2, О2
Примечание: Доступно индивидуальное производство.

Образец покрытия

IC LSI Electrode Semiconductor Detector Systems Магнетронное распыление Осаждение

Шаги процесса

→ Поместите подложку для покрытия в вакуумную камеру;

→ Грубо пропылесосить;

→ Включите молекулярный насос, пропылесосьте на максимальной скорости, затем включите обороты и вращение;

→ Нагрев вакуумной камеры до достижения заданной температуры;

→ Внедрить постоянный контроль температуры;

→ Очистите элементы;

→ Вращение и обратно в исходное положение;

→ Покрытие пленкой в ​​соответствии с технологическими требованиями;

→ Понизьте температуру и остановите узел насоса после нанесения покрытия;

→ Остановите работу, когда автоматическая операция будет завершена.

Наши преимущества

Мы производитель.

Зрелый процесс.

Ответ в течение 24 рабочих часов.

Наша сертификация ISO

IC LSI Electrode Semiconductor Detector Systems Магнетронное распыление Осаждение

Части наших патентов

IC LSI Electrode Semiconductor Detector Systems Магнетронное распыление ОсаждениеIC LSI Electrode Semiconductor Detector Systems Магнетронное распыление Осаждение

Части наших наград и квалификаций НИОКР

IC LSI Electrode Semiconductor Detector Systems Магнетронное распыление ОсаждениеIC LSI Electrode Semiconductor Detector Systems Магнетронное распыление Осаждение

Отправьте сообщение этому поставщику
Отправляй сейчас

IC LSI Electrode Semiconductor Detector Systems Магнетронное распыление Осаждение

Спросите последнюю цену
Смотрите видео
Подробная информация о продукте
Номер модели :
MSC-SEM-X—X
Место происхождения :
Чэнду, КНР
минимальное количество для заказа :
1 комплект
Условия оплаты :
Т/Т
Возможность поставки :
От случая к случаю
Срок поставки :
От случая к случаю
Контактный поставщик
видео
IC LSI Electrode Semiconductor Detector Systems Магнетронное распыление Осаждение

ZEIT Group

Active Member
4 Годы
sichuan, chengdu
С тех пор 2018
Вид деятельности :
Manufacturer, Exporter, Seller
Основные продукты :
, ,
Общее годовое :
＄10,000,000-＄15,000,000
Количество работников :
120~200
Уровень сертификации :
Active Member
Узнайте о аналогичных продуктах
Смотрите больше
Смотреть связанные видео

Найти похожие товары по категориям:

Главная страница поставщика Продукты
MachineU Китайские продукты Химикаты Неорганические химикаты Графитовые изделия Графитовые электроды
Контактный поставщик
Требование о предоставлении