MachineU > Китайские продукты > Машины > Химическое и фармацевтическое оборудование > Фармацевтическое оборудование > Машины для нанесения пленочных покрытий
Оборудование для атомно-слоевого осаждения микроэлектромеханических систем МЭМС смазывая покрытие
Оборудование для атомно-слоевого осаждения микроэлектромеханических систем МЭМС смазывая покрытие
Спецификации
Номер модели :
АЛД-МЭМС-X—X
Место происхождения :
Чэнду, КНР
минимальное количество для заказа :
1 комплект
Условия оплаты :
Т/Т
Возможность поставки :
От случая к случаю
Срок поставки :
От случая к случаю
Детали упаковки :
деревянная коробка
Масса :
Настраиваемый
размер :
Настраиваемый
Гарантийный срок :
1 год или в каждом конкретном случае
Настраиваемый :
Доступный
Условия доставки :
Морским/воздушным/мультимодальным транспортом
Описание

Атомно-слоевое осаждение в промышленности микроэлектромеханических систем


Приложения

Приложения Особая цель

Микроэлектромеханические системы (МЭМС)

Противоизносное покрытие
Антиадгезионное покрытие
Смазочное покрытие


Принцип работы
В каждом технологическом цикле будет наноситься один атомный слой.Процесс покрытия обычно происходит в реакции
камеры, и технологические газы вводятся последовательно.В качестве альтернативы субстрат можно перемещать между двумя
зоны, заполненные различными прекурсорами (пространственный ALD) для реализации процесса.Весь процесс, включая все реакции
и операции очистки будут повторяться снова и снова, пока не будет достигнута желаемая толщина пленки.Конкретный
начальное фазовое состояние определяется поверхностными свойствами подложки, затем толщина пленки будет возрастать
постоянно с увеличением количества реакционных циклов. До сих пор можно точно контролировать толщину пленки.

Функции

Модель АЛД-МЭМС-X—X
Система пленочного покрытия АЛ2О3,TiO2,ZnO и т. д.
Диапазон температур покрытия Нормальная температура до 500 ℃ (настраиваемый)
Размер вакуумной камеры покрытия

Внутренний диаметр: 1200 мм, высота: 500 мм (настраиваемый)
Структура вакуумной камеры В соответствии с требованиями заказчика
Фоновый вакуум <5×10-7мбар
Толщина покрытия ≥0,15 нм
Точность контроля толщины ±0,1нм
Размер покрытия 200×200 мм² / 400×400 мм² / 1200×1200 мм² и т. д.
Равномерность толщины пленки ≤±0,5%
Прекурсор и газ-носитель

Триметилалюминий, тетрахлорид титана, диэтилцинк, чистая вода,
азот и др.
Примечание: Доступно индивидуальное производство.


Образцы покрытия
Оборудование для атомно-слоевого осаждения микроэлектромеханических систем МЭМС смазывая покрытиеОборудование для атомно-слоевого осаждения микроэлектромеханических систем МЭМС смазывая покрытие
Шаги процесса
→ Поместите подложку для покрытия в вакуумную камеру;
→ Вакуумировать вакуумную камеру при высокой и низкой температуре и синхронно вращать подложку;
→ Стартовое покрытие: подложка контактирует с прекурсором последовательно и без одновременной реакции;
→ Продувайте его газообразным азотом высокой чистоты после каждой реакции;
→ Прекратите вращение подложки после того, как толщина пленки станет стандартной, а операция продувки и охлаждения завершится.
завершите, затем извлеките подложку после того, как будут соблюдены условия отключения вакуума.

Наши преимущества
Мы производитель.
Зрелый процесс.
Ответ в течение 24 рабочих часов.

Наша сертификация ISO
Оборудование для атомно-слоевого осаждения микроэлектромеханических систем МЭМС смазывая покрытие

Части наших патентов
Оборудование для атомно-слоевого осаждения микроэлектромеханических систем МЭМС смазывая покрытиеОборудование для атомно-слоевого осаждения микроэлектромеханических систем МЭМС смазывая покрытие

Части наших наград и квалификаций в области НИОКР

Оборудование для атомно-слоевого осаждения микроэлектромеханических систем МЭМС смазывая покрытиеОборудование для атомно-слоевого осаждения микроэлектромеханических систем МЭМС смазывая покрытие









Отправьте сообщение этому поставщику
Отправляй сейчас

Оборудование для атомно-слоевого осаждения микроэлектромеханических систем МЭМС смазывая покрытие

Спросите последнюю цену
Смотрите видео
Подробная информация о продукте
Номер модели :
АЛД-МЭМС-X—X
Место происхождения :
Чэнду, КНР
минимальное количество для заказа :
1 комплект
Условия оплаты :
Т/Т
Возможность поставки :
От случая к случаю
Срок поставки :
От случая к случаю
Контактный поставщик
видео
Оборудование для атомно-слоевого осаждения микроэлектромеханических систем МЭМС смазывая покрытие

ZEIT Group

Active Member
4 Годы
sichuan, chengdu
С тех пор 2018
Вид деятельности :
Manufacturer, Exporter, Seller
Основные продукты :
, ,
Общее годовое :
＄10,000,000-＄15,000,000
Количество работников :
120~200
Уровень сертификации :
Active Member
Узнайте о аналогичных продуктах
Смотрите больше
Смотреть связанные видео

Найти похожие товары по категориям:

Главная страница поставщика Продукты
MachineU Китайские продукты Машины Химическое и фармацевтическое оборудование Фармацевтическое оборудование Машины для нанесения пленочных покрытий
Контактный поставщик
Требование о предоставлении