SS101Вафли-Уровень Распределение Машина
Для поднаполнения формы вафель
SS101 - это высокостабильная и точная система подачи на уровне пластины, которая разработана на основе требований процесса заполнения RDL First WLP.
Оборудование отвечает потребностям полупроводниковой промышленности, может быть оснащено автоматической системой загрузки и разгрузки пластин и может автоматически выполнять такие функции, как обработка пластин,выровнение Он совместим с международными протоколами полупроводниковой связи.и оснащен автоматическим интерфейсом AMHS для загрузки и разгрузки роботов, чтобы соответствовать
требования к управлению информацией и тенденции управления беспилотником.
SS101 Система расположения
¢ Loadport & Foup
️ Выровнитель
Станция сканирования QR-кодов
Станция предварительного нагрева
Станция рассеивания тепла
Рабочая станция для диспенсирующей машины GS600SWB
Модуль управления роботом

Технические спецификации
| Система SS101 | GS600SWA * 1,GS600SWB * 1, PC101 Wafer Handling Machine * 1 (EFEM) | |
| Области применения | RDL Первый WLP, CUFПрименение | |
| Уровень чистоты | Чистота рабочей зоны |
Класс 100 (мастерская класса 1000) Класс 10 (мастерская класса 100) |
|
Области применения продукции |
Поддержка размера пластины |
φ200mm±0.5mm, φ300mm±0.5mm (Стандартная модель поддерживает только 12-дюймовые пластины) |
| Поддержка толщины пластины | 300-2550 мкм | |
| Максимально допустимый диапазон вафры | < 5 мм (согласно типу роботового пальца) | |
| Максимально допустимая масса пластины | 600 г (в зависимости от типа роботового пальца) | |
| Кассеты из вафелей | 8-дюймовый открытый кассетный диск, 12-дюймовый Foup (стандартная модель поддерживает только 12-дюймовые пластины) | |
|
PC101 (EFEM) |
Способ погрузки и разгрузки | Загрузочный порт+роботы |
| Точность предварительного выравнивания | Округленное отклонение коррекции центра≤±0,1 мм; отклонение коррекции угла≤±0,2 ° | |
| Читатель пластин | Поддерживает шрифты SEMI (плоские или выпуклые/выпуклые поверхности), не-SEMI шрифты | |
| Диапазон температуры предварительного нагрева | Температура в помещении ~ 180°C | |
| Способ охлаждения пластины | Естественное охлаждение или охлаждение воздухом | |
|
Система управления движением |
Механизмы передачи | X/Y: Линейный двигатель Z: Сервомотор и винтовой модуль |
| Повторяемость | X/Y: ±3μmZ: ±5μm | |
| Точность позиционирования | X/Y: ±10μm | |
| Максимальная скорость движения | X/Y: 1000 мм/с Z: 500 мм/с | |
| Максимальная ускоренная скорость | X/Y: 1g Z: 0,5g | |
|
Система зрения |
Пиксели камеры | 130 Вт |
| Точность распознавания | ± 1 пиксель | |
| Диапазон распознавания | 12 × 16 мм<Расстояние распознавания < 19,2 × 25,6 мм | |
| Источник света | Комбинированный трехцветный источник света красный, зеленый, белый + красный | |
| Система калибровки веса | Точность взвешивания | 00,01 мг |
|
Нагрузка на стол |
Отклонение плоскости вакуумной поверхности | ≤ 3 0 мм |
| Диапазон температуры нагрева | Температура в помещении ~ 180°C | |
| Отклонение температуры нагрева | ≤ ± 1,5 °C | |
| Повторяемость высоты подъема | ± 10 м | |
| Вакуумное всасывающее давление | -70~-85Kpa Установляемая | |
|
Устройства |
Отпечаток (W*D*H) | 3075×2200×2200мм ((Экран развернут) |
| Вес | 2.9t | |
| Электрическое питание | 200 ~ 240VAC,47 ~ 63HZ (единофазное адаптационное питание к напряжению) | |
| Электрический ток | 75А | |
| Сила | 16.5 кВт | |
| Ингаляция | (0,5 МПа, 450 л/мин) ×5 пути | |
| Рабочая температура окружающей среды | 23°C±3°C | |
| Относительная влажность рабочей среды | 30 ~ 70% | |
