Особенности и преимущества
Области применения
MEMS микрофон MEMS акселерометр MEMS барометр
Технические спецификации
| Модель GS600M | ||
| А.Опубликование Поля | Упаковка из формы на пленку из свинцового каркаса, субстрата, оболочки | |
| Применимый процесс | Включение микроскопа, сцепление с пастой, склеивание, подкрепление компонентов. | |
| Уровень чистоты | Чистота рабочей зоны | Класс 100 (мастерская класса 1000) Класс 10 (мастерская класса 100) |
Передача Система | Механизмы передачи | X/Y:линейный двигатель Z: Сервомотор и винтовой модуль |
| Повторяемость (3сигма) | X/Y: ±0,010 мм Z: ±0,015 мм | |
| Точность позиционирования (3сигма) | X/Y: ±0,015 мм Z: ±0,025 мм | |
| Максимальная скорость движения | X/Y: 1000 мм/с Z: 500 мм/с | |
| Максимальная ускоренная скорость | X/Y: 1g Z: 0,5g | |
| Разрешение решетки | 1 м | |
| Метод калибровки и компенсации высоты оси Z | Лазерный датчик (лазерный датчик) | |
| Точность лазерного датчика | ± 0,01 мм | |
Распределение Способность | Способ распределения | Пиезонасос (Mingseal самостоятельно разработанный) |
| Точность контроля клея | ± 3%/1 мг (по фактическому удельному весу клея) | |
| Минимальный вес одноточечного клея | 00,001 мг/точку (по фактическому удельному весу клея) | |
| Максимальная вязкость жидкости | 200000cps | |
| Максимальная частота струи | 1000 Гц | |
| Температура нагрева трубки/насадки | Температура в помещении ~200°C | |
| Отклонение температуры нагрева трубки/насадки | ±2°C | |
| Устройства | Отпечаток W × D × H | 2050 × 1535 × 2085 мм |
| Вес | 1.5t | |
| Электрическое питание | 200~240ВАК,47~63Гц (Единофазное адаптационное питание к напряжению) | |
| Электрический ток | 35А | |
| Сила | 7 кВт | |
| Ингаляция | 50,0-7,0 кг/см2 | |

